[實用新型]一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220686260.5
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN202968133U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發(fā)明（設計）人: 譚毅;劉峰;顧正
• 申請（專利權）人: 青島隆盛晶硅科技有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備，由真空腔室（2）構成外壁，外壁上安裝有真空管路（16），真空管路（16）一端與真空泵組（15）相連，其特征是：外壁上固定安裝有通氣管路（13），且活動安裝有水冷支撐桿（14），水冷支撐桿內(nèi)部通冷卻水，水冷坩堝（17）安裝于水冷支撐桿之上，水冷盤（12）活動密封安裝于真空腔室（2）底部，石墨板（11）置于水冷盤頂端，石墨板（11）上開有孔，石墨支柱（10）一端通過孔與石墨板（11）嵌套連接，另一端與石墨托盤（9）嵌套連接，坩堝（7）置于石墨托盤（9）之上，石墨發(fā)熱體（6）套于坩堝外圍且固定于真空腔室（2）側(cè)壁，碳氈保溫桶（4）套于石墨發(fā)熱體（6）之外且固定于真空腔室（2）側(cè)壁，碳氈保溫蓋（3）上開有孔，置于碳氈保溫桶（4）頂端，感應線圈（5）套于碳氈保溫桶（4）之外，且固定于真空腔室（2）側(cè)壁之上，石墨管（1）活動安裝于真空腔室（2）頂端，且其下端穿過碳氈保溫蓋（3）置于坩堝正上方中心位置，石墨管上端封閉，下端開口。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨板（11）上的孔至少3個。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨托盤（9）上開有卡槽。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨管（1）與真空腔室（2）之間真空密封活動連接。

5.根據(jù)權利要求1或4所述的一種石墨管取尾料式定向凝固提純多晶硅的設備，其特征是：所述石墨管（1）為尖嘴石墨管，其下端管口為尖嘴錐形，上端為圓柱形，整體呈上端封閉的漏斗形狀。