[實用新型]硅片整形吸附裝置有效
| 申請號: | 201220685520.7 | 申請日: | 2012-12-13 |
| 公開(公告)號: | CN203013690U | 公開(公告)日: | 2013-06-19 |
| 發明(設計)人: | 盧森景;王相軍;周道全 | 申請(專利權)人: | 上海釜川超聲波科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 201808 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 整形 吸附 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種太陽能光伏發電部件生產加工的機械設備,更具體地說,本實用新型涉及一種自動化程度高、工作效率高的硅片整形吸附裝置。?
背景技術
隨著太陽能光伏發電技術在全球的廣泛應用,用于光伏發電裝置的硅片,其生產加工的效率和質量問題日益凸顯。其中硅片整形裝盒,傳統方法采用的是手工裝盒,這種傳統的人工裝盒方法速度慢、工作效率低、勞動力成本高,且人工裝盒易受員工的情緒波動、長時間工作注意力難以持續集中等因素的影響,所以在裝盒過程中,質量難以掌控,產生硅片破損、硅片疊裝不整齊等問題,造成經濟損失。因此亟需用機械化、自動化加工方法替代傳統的手工操作。?
發明內容
本實用新型發明的目的是克服現有技術的不足,提供一種機械化、自動化程度較高的一種硅片整形吸附裝置。?
本實用新型發明的目的是通過以下技術方案實現的:?
一種硅片整形吸附裝置,由機板、傳送機構、整形機構和吸附機構連接構成。所述的機板的中軸線設有傳送機構,所述傳送機構的兩旁設有整形機構,所述的整形機構為對稱安裝的兩套氣缸安裝板并連接氣缸及整形板,所述的吸附機構由吸附板連接高壓氣管、真空發生?器及電磁閥構成,所述的吸附板設置在傳送機構傳送帶的空腔中,該吸附板的兩側設有高壓氣管,所述的高壓氣管穿過機板的通孔,所述的吸附板上面設有對稱排列的吸孔,所述的吸孔對準傳送帶的空隙。?
本實用新型發明的目的還可以通過以下技術方案實現的:?
所述的吸附板為四根方管連接的長方形框體,其中兩根長管兩端的上面設有軸向排列的吸孔,所述長管側面的兩端連接高壓氣管,所述高壓氣管的管口對準排列吸孔的中心。所述的高壓氣管由橫管和豎管連接而成,橫管的兩個管口分別連接吸附板的側面的兩端,豎管的一端連通橫管的中心,另一端連通真空發生器,所述真空發生器的一端設有電磁閥。所述的整形板豎置對稱分列傳送機構的兩旁,該整形板下端略低于上行傳送帶。所述的傳送機構由電機、轉軸、軸座、輪座、皮帶輪和傳送帶連接而成,所述的電機安裝在緊靠氣缸安裝板旁邊的機板上,電機的轉軸穿過并連接一對軸座,所述的軸座分別固定在兩個氣缸安裝板旁邊的機板上,所述的轉軸設有一對皮帶輪,所述的輪座設置在機板的端頭,該輪座設有一對皮帶輪,所述轉軸上的皮帶輪和輪座上的皮帶輪相對稱,并通過傳送帶連接。?
與現有技術相比,本實用新型具有以下有益效果:?
1.硅片整形裝盒效率高、質量好;?
2.降低勞動力成本、提高了經濟效益。?
附圖說明
圖1為硅片整形吸附裝置示意圖;?
圖2為硅片整形吸附裝置的吸附機構示意圖。?
圖中:機板1、電機2、轉軸3、軸座4、皮帶輪5、輪座6、傳送帶7、氣缸安裝板8、氣缸9、整形板10、吸附板11、吸孔12、高壓氣管13、真空發生器14、電磁閥15、硅片16。?
具體實施方式
下面將結合附圖及實施例對本實用新型的實質性內容作進一步詳細的描述:?
如圖1所示:一種硅片整形吸附裝置,由機板1、傳送機構、整形機構和吸附機構連接構成。機板1的中軸線設有傳送機構,傳送機構由電機2、轉軸3、軸座4、輪座6、皮帶輪5和傳送帶7連接而成。電機2安裝在機板1的一邊,電機2的轉軸3穿過并連接一對軸座4,軸座4分別固定在機板1的兩邊,轉軸3設有一對皮帶輪5。輪座6設置在機板1的端頭,該輪座6設有一對皮帶輪5,轉軸3上的皮帶輪5和輪座6上的皮帶輪5相對稱,并通過傳送帶7連接。?
整形機構設置在傳送機構的兩旁,整形機構為對稱安裝的兩套氣缸安裝板8并連接汽缸9及整形板10,整形板10豎置對稱分列傳送機構的兩旁,該整形板10下端略低于上行傳送帶7,使整形機構運行時整形板10能正確導正在上行傳送帶7上的硅片16。?
如圖2所示:吸附機構由吸附板11連接高壓氣管13、真空發生器14及電磁閥15構成。吸附板11設置在傳送機構傳送帶7的空腔中,吸附板11為長方形框體,其中兩根長管兩端的上面設有軸向排列的吸孔12,該吸孔12垂直對準傳送帶7的空隙,使吸孔12能夠吸附到上行傳送帶7上的硅片16。高壓氣管13由橫管和豎管連接而?成,橫管的兩個管口分別連接吸附板11長管側面的兩端,且對準排列吸孔12的中心。豎管的一端連通橫管的中心,另一端連通真空發生器14,真空發生器14設有電磁閥15。高壓氣管13的豎管穿過機板1的通孔。?
實施例:啟動硅片整形吸附裝置運行,硅片16通過前道工序的傳送帶輸送到硅片整形吸附裝置的傳送機構,當硅片16通過兩塊整形板10之間時,與硅片整形吸附裝置配套的光電感應開關傳出信號,電機2停止(間歇動作),兩個氣缸9同步(間歇動作)伸出將硅片16導正,氣缸9伸出到位時,感應開關傳出信號,控制充入高壓空氣,電磁閥15工作(間歇動作),真空發生器14充氣后產生負壓,將硅片16吸附在傳送帶7上的同時,氣缸9同步退回,傳送帶7將硅片送至片盒。?
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





