[實用新型]硅片整形吸附裝置

有效

• 申請號: 201220685520.7
• 申請日: 2012-12-13
• 公開（公告）號: CN203013690U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 盧森景;王相軍;周道全
• 申請（專利權）人: 上海釜川超聲波科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片整形吸附裝置，由機板、傳送機構、整形機構和吸附機構連接構成，其特征在于：所述的機板的中軸線設有傳送機構，所述傳送機構的兩旁設有整形機構，所述的整形機構為對稱安裝的兩套氣缸安裝板并連接氣缸及整形板，所述的吸附機構由吸附板連接高壓氣管、真空發生器及電磁閥構成，所述的吸附板設置在傳送機構傳送帶的空腔中，該吸附板的兩側設有對稱的高壓氣管，所述的高壓氣管穿過機板的通孔，所述的吸附板上面設有對稱排列的吸孔，所述的吸孔對準傳送帶的空隙。

2.根據權利要求1所述的一種硅片整形吸附裝置，其特征在于：所述的吸附板為四根方形管材連接的長方形框體，其中兩根長管兩端的上面設有軸向排列的吸孔，所述長管側面的兩端連接高壓氣管，所述高壓氣管的管口對準排列吸孔的中心。

3.根據權利要求2所述的一種硅片整形吸附裝置，其特征在于：所述的高壓氣管由橫管和豎管連接而成，橫管的兩個管口分別連接吸附板的側面的兩端，豎管的一端連通橫管的中心，另一端連通真空發生器，所述真空發生器的一端設有電磁閥。

4.根據權利要求1所述的一種硅片整形吸附裝置，其特征在于：所述的整形板豎置對稱分列傳送機構的兩旁，該整形板下端略低于上行傳送帶。

5.根據權利要求1所述的一種硅片整形吸附裝置，其特征在于：所述的傳送機構由電機、轉軸、軸座、輪座、皮帶輪和傳送帶連接而成，所述的電機安裝在緊靠氣缸安裝板旁邊的機板上，電機的轉軸穿過并連接一對軸座，所述的軸座分別固定在兩個氣缸安裝板旁邊的機板上，所述的轉軸設有一對皮帶輪，所述的輪座設置在機板的端頭，該輪座設有一對皮帶輪，所述轉軸上的皮帶輪和輪座上的皮帶輪相對稱，并通過傳送帶連接。