[實(shí)用新型]金剛線切割單晶硅片脫膠預(yù)清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220672829.2
• 申請(qǐng)日: 2012-12-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203002693U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹辰;李淑麗;趙可武;張駿凱;高攀紅;左亞蓮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無(wú)錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/12
• 分類號(hào): B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;B08B3/14
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 羅笛

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能硅片脫膠清洗技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種金剛線切割單晶硅片的脫膠預(yù)清洗裝置。

背景技術(shù)

目前，太陽(yáng)能單晶硅片切割主要采用游離切割技術(shù)，游離切割技術(shù)工藝效率低且成本較高，并造成嚴(yán)重的環(huán)境污染。隨著太陽(yáng)能單晶切割技術(shù)的快速發(fā)展，新型的金剛石線切割技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，該技術(shù)采用包埋在鋼線表面的金剛石，在切割液的配合下實(shí)現(xiàn)切割，其切割速度是傳統(tǒng)游離切割技術(shù)的2～3倍，切割后產(chǎn)生的硅粉予以回收使用，切割液清潔環(huán)保。

由于金剛線切割后的單晶硅片表面會(huì)產(chǎn)生大量的硅粉顆粒、金屬離子以及氧化物、有機(jī)物等污染物，導(dǎo)致脫膠預(yù)清洗總時(shí)間一般在45min-60min，且在較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)不能很好去除單晶硅片表面大部分污染物，增加了后續(xù)清洗壓力，生產(chǎn)效率低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種金剛線切割單晶硅片脫膠預(yù)清洗裝置，有效去除單晶硅表面的大部分污染物，提高預(yù)清洗效果，縮短脫膠預(yù)清洗時(shí)間。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種金剛線切割單晶硅片脫膠預(yù)清洗裝置，包括槽體，槽體內(nèi)設(shè)有超聲振動(dòng)裝置、噴淋管和進(jìn)出水系統(tǒng)，底部設(shè)有加熱裝置。

本實(shí)用新型的特點(diǎn)還在于：

超聲振動(dòng)裝置包括超聲振板和超聲主機(jī)，超聲振板固定設(shè)置在槽體的內(nèi)側(cè)，且與超聲主機(jī)電連接。

噴淋管與外接噴淋進(jìn)水管道連接，噴淋管為不銹鋼圓管或方管，方管上可以安裝噴淋頭。

進(jìn)出水系統(tǒng)包括進(jìn)水系統(tǒng)和出水系統(tǒng)；進(jìn)水系統(tǒng)包括進(jìn)水口和溢流進(jìn)水口，進(jìn)水口與外接進(jìn)水管道連接，溢流進(jìn)水口與外接溢流進(jìn)水管道連通；出水系統(tǒng)包括設(shè)置在槽體底部的出水口和溢流出水口，出水口與外接出水管道連接，溢流出水口與外接排水管道連接；出水口設(shè)置有第一過(guò)濾網(wǎng)。

槽體內(nèi)還設(shè)有不銹鋼承載架，承載架承載裝有硅棒的脫膠架，承載架上設(shè)置有第二過(guò)濾網(wǎng)。

槽體內(nèi)設(shè)有溫度傳感器。

槽體外側(cè)設(shè)置有進(jìn)水管道、出水管道、溢流管道及噴淋進(jìn)水管道且分別設(shè)有閥門(mén)，噴淋進(jìn)水管道上設(shè)置有水壓表。

槽體內(nèi)還設(shè)有監(jiān)測(cè)槽中液面高度變化的液位浮球，槽體上設(shè)置有蓋板。

本實(shí)用新型具有如下有益效果：

本實(shí)用新型在清洗槽體內(nèi)設(shè)置超聲、加熱、噴淋裝置及進(jìn)出水系統(tǒng)，這些裝置、系統(tǒng)相互配合，不僅可有效去除金剛線切割的單晶硅片表面與硅片之間的硅粉顆粒、金屬離子、氧化物和有機(jī)物等污染物，提高單晶硅片表面預(yù)清洗質(zhì)量，減輕了后續(xù)清洗壓力，而且大大縮短脫膠預(yù)清洗的時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型金剛線切割單晶硅片的脫膠預(yù)清洗裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1側(cè)視圖；

圖3為圖1后視圖。

圖中，1.槽體；2.出水口；3.第一過(guò)濾網(wǎng)；4.加熱管；5.溫度傳感器；6.承載架；7.第二過(guò)濾網(wǎng)；8.超聲振板；9.噴淋管；10.脫膠架；11.蓋板；12.進(jìn)水閥門(mén)；13.出水閥門(mén)；14.溢流進(jìn)水閥門(mén)；15.液位浮球；16.溢流出水口；17.噴淋進(jìn)水閥門(mén)；18、水壓表。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步具體的說(shuō)明

本實(shí)用新型提供的金剛線切割單晶硅片脫膠預(yù)清洗裝置，主要包括不銹鋼槽體1，槽體1底部設(shè)置出水口2，出水口2與外接出水管道連接；出水口2上方設(shè)置第一過(guò)濾網(wǎng)3，第一過(guò)濾網(wǎng)3的網(wǎng)孔徑需保證能全部接收掉落大于5mm的碎硅片；槽體1底部還設(shè)置有加熱管4和溫度傳感器5，溫度傳感器5與外接電控箱連接。

槽體1中部設(shè)有可拆卸的不銹鋼承載架6，承載架6上設(shè)置第二過(guò)濾網(wǎng)7，第二過(guò)濾網(wǎng)7網(wǎng)孔徑與第一過(guò)濾網(wǎng)3相同；槽體1中部還設(shè)置進(jìn)水口和溢流進(jìn)水口，進(jìn)水口與外接進(jìn)水管道連接，溢流進(jìn)水口與外接溢流進(jìn)水管道連通。

槽體1中部?jī)蓚?cè)設(shè)置超聲振板8，超聲振板8與外接超聲主機(jī)連接，超聲頻率在28KHz-120KHz；槽體1中上部?jī)蓚?cè)分別設(shè)有1-3組噴淋管9，每組兩個(gè)，噴淋管9采用固定式或可調(diào)式的不銹鋼圓管或方管，并可以人工調(diào)整噴淋角度，噴淋管9與外接噴淋進(jìn)水管道連接。

槽體1上部設(shè)有溢流出水口16，溢流出水口16與外接排水管道連接。槽體1外部設(shè)置蓋板11，蓋板11可與槽體1固定連接使用或可單獨(dú)使用。

槽體1外部設(shè)置進(jìn)水管道、出水管道和溢流管道，通過(guò)進(jìn)水閥門(mén)12、出水閥門(mén)13和溢流進(jìn)水閥門(mén)14分別控制進(jìn)水、出水和溢流進(jìn)水；槽體1外部還設(shè)有噴淋進(jìn)水管道，噴淋進(jìn)水管道上設(shè)有噴淋進(jìn)水閥門(mén)17和水壓表18，水壓表顯示噴淋壓力大小。

槽體1內(nèi)部還設(shè)有不銹鋼超聲和加熱液位浮球15，監(jiān)測(cè)槽中液面的高度變化，保護(hù)裝置。