[實用新型]金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置

有效

• 申請號: 201220672829.2
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN203002693U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 尹辰;李淑麗;趙可武;張駿凱;高攀紅;左亞蓮
• 申請（專利權）人: 西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司;寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;B08B3/14
• 代理公司: 西安弘理專利事務所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，包括槽體（1），槽體（1）內設有超聲振動裝置、噴淋管（9）和進出水系統，底部設有加熱裝置。

2.根據權利要求1所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述超聲振動裝置包括超聲振板（8）和超聲主機，所述超聲振板（8）固定設置在槽體（1）的內側，且與超聲主機電連接。

3.根據權利要求1或2所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述噴淋管（9）與外接噴淋進水管道連接，噴淋管（9）為不銹鋼圓管或方管。

4.根據權利要求3所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述進出水系統包括進水系統和出水系統；所述進水系統包括進水口和溢流進水口，所述進水口與外接進水管道連接，溢流進水口與外接溢流進水管道連通；所述出水系統包括設置在槽體（1）底部的出水口（2）和溢流出水口（16），所述出水口（2）與外接出水管道連接，所述溢流出水口（16）與外接排水管道連接；所述出水口（2）設置有第一過濾網（3）。

5.根據權利要求4所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述槽體（1）內還設有不銹鋼承載架（6），承載架（6）承載裝有硅棒的脫膠架（10），所述承載架（6）上設置有第二過濾網（7）。

6.根據權利要求5所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，槽體（1）內設有溫度傳感器（5）。

7.根據權利要求6所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述槽體（1）外側設置有進水管道、出水管道、溢流管道及噴淋進水管道且分別設有閥門，所述噴淋進水管道上設置有水壓表（18）。

8.根據權利要求7所述的金剛線切割單晶硅片脫膠預清洗裝置，其特征在于，所述槽體（1）內還設有監測槽中液面高度變化的液位浮球（15），槽體（1）上設置有蓋板（11）。