[實用新型]磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置

有效

• 申請號: 201220669495.3
• 申請日: 2012-12-07
• 公開（公告）號: CN202925091U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 溫旭輝;潘明元
• 申請（專利權）人: 成都南光機器有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 謝敏

1.一種磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，包括承片結構（1）、轉盤（2）、連接塊（3）、大齒輪（6）、軸承（15）和動力裝置（12），所述的轉盤（2）通過連接塊（3）與軸承（15）一端連接，所述的軸承（15）另一端與動力裝置（12）連接，所述的大齒輪（6）固定在轉盤（2）和軸承（15）之間，大齒輪（6）和轉盤（2）兩端分別用承片結構（1）相連接，其特征在于：還包括與大齒輪（6）垂直連接的自轉大齒輪（7）、襯套（8）和大齒輪轉動裝置（5），所述的襯套（8）位于自轉大齒輪（7）和軸承（15）之間，所述的大齒輪轉動裝置（5）與自轉大齒輪（7）一端連接，大齒輪轉動裝置（5）內分布有電機。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的所有的承片結構（1）外側分布有屏蔽板（4），屏蔽板（4）與轉盤（2）平行且位于轉盤（2）的斜上方。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的動力裝置（12）和軸承（15）之間安裝有引入座（11），動力裝置（12）內部依次連接有連接柱（13）、聯軸器（14）和步進電機（16）。

4.根據權利要求3所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的連接柱（13）的一個側面上依次連接有支架（18）和傳感器支架（17），傳感器支架（17）露于動力裝置（12）的對應位置的外側。

5.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的轉盤（2）和大齒輪（6）相互平行，軸承（15）位于轉盤（2）和大齒輪（6）的垂直平分線上。

6.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的軸承（15）與襯套（8）之間依次連接有壓蓋（9）和支撐座（10）。

7.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于：所述的襯套（8）一側緊挨自轉大齒輪（7）。