[實用新型]自動搬送軌道結構及搬送系統

有效

• 申請號: 201220659771.8
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN202967393U
• 公開（公告）日: 2013-06-05
• 發明（設計）人: 李佳青
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;林彥之

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路物料輸送設備技術領域，尤其涉及一種硅片盒自動搬送系統中的軌道結構及自動搬送系統。?

背景技術

隨著半導體技術的發展，300mm硅片已經逐步取代200mm硅片成為主流，每盒裝載硅片的硅片盒的重量也由原來的約4公斤變成約9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不僅會降低效率，還存在搬運人員人身傷害的可能。同時，半導體制造對于廠房的利用率以及生產周期的要求越來越嚴苛，自動化物料傳輸系統（Automated?Material?Handling?Systems，簡稱AMHS）作為連接各個制造模塊之間輸送硅片的紐帶的重要性也日益凸顯出來。

現有技術中，用于300mm硅片制造的一種主流AMHS包括多個用于存放半導體硅片的硅片存儲設備（STOCKER）和一個或多個空中升降機輸送車（OHT），用于在硅片制造區域的各工位之間傳送硅片。存放在STOCKER中的硅片被裝入盒式容器，例如前端開口片盒（Front?Opening?Unified?Pod，簡稱FOUP），隨后它們被傳遞到在懸垂軌道上行進的OHT。

在現在比較先進的自動搬送系統中，硅片盒通過OHT實現各工藝設備間以及與STOCKER之間的自動搬送。OHT小車的運行控制策略是AMHS系統搬送效率的關鍵。通常在AMHS系統中，均采用單軌道結構供OHT小車運行，而同一段軌道內只允許一輛OHT小車進行作業，當前面已有一輛OHT小車在取放硅片盒時，后面的OHT小車如果需要搬送硅片至軌道更前面位置的設備時，就必須等待前面的OHT小車完成作業離開這段軌道后再進行作業。因此，這在一定程度上制約了整個系統的搬送效率。

圖1顯示了傳統的AMHS系統的軌道結構走向設計，其包括了搬送軌道105，兩輛OHT小車106和107，軌道105通常位于凈化間頂部天花板位置，OHT小車106和107沿著軌道105以固定的方向運行（如圖中箭頭方向），可以到達四個硅片存儲設備101、102、103和104，在完成硅片盒的取、放后，繼續前進離開。在這樣一個結構中，當OHT小車107在硅片存儲設備104進行搬運操作時，后方OHT小車106無法沿著軌道105前進，如果OHT小車106需要到硅片存儲設備103取放硅片盒，則需等待OHT小車107完成作業并離開后，方可前進至設備103進行作業。

實用新型內容

本實用新型的目的在于彌補上述現有技術的不足，提供一種自動搬送軌道結構及搬送系統，以實現在前輸送車在取放硅片盒時，后方的輸送車能夠繼續前行至軌道更前方的硅片存儲設備，提高AMHS系統的搬送效率。

為實現上述目的，本實用新型提供一種自動搬送軌道結構，其包括主軌道和一個或多個支路軌道，該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道。

其中，該支路主軌道即對應于硅片存儲設備位置上方的存取操作軌道。

進一步地，該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道，該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。

進一步地，該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道，該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。如此設置目的在于，使輪子可以平滑地從主軌道運行至支路軌道，或平滑地從支路軌道運行至主軌道，以提高搬送系統的安全性。

進一步地，每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。如此設置目的在于，使輪子在一個硅片存儲設備處完成存取操作后行駛并回到主軌道上，避免因兩個弧形軌道相接而可能造成的輪子行駛錯位，避免了搬送系統運作中的安全隱患。較佳地，相鄰支路軌道的相鄰弧形軌道之間相距5-1000cm。

另一方面，該相鄰兩段支路主軌道之間的支路連接軌道可以相連，使得兩個支路主軌道及其之間的支路連接軌道組成一個新的支路主軌道，這樣可以便于輸送車在連續兩個或多個硅片存儲設備之間作業，而不影響主軌道上的其他輸送車。

進一步地，該支路連接軌道與主軌道的連接處設置有轉撤器。該轉撤器可用現有軌道建設領域的常用轉撤器，目的是為了便于切換輪子在主軌道或支路軌道中行駛。