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[實用新型]自動搬送軌道結構及搬送系統有效

專利信息
申請號: 201220659771.8 申請日: 2012-12-04
公開(公告)號: CN202967393U 公開(公告)日: 2013-06-05
發明(設計)人: 李佳青 申請(專利權)人: 上海集成電路研發中心有限公司
主分類號: B65G35/00 分類號: B65G35/00
代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吳世華;林彥之
地址: 201210 上*** 國省代碼: 上海;31
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 自動 軌道 結構 系統
【權利要求書】:

1.一種自動搬送軌道結構,其特征在于:其包括主軌道和一個或多個支路軌道,該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道。

2.根據權利要求1所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道,該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。

3.根據權利要求2所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道,該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。

4.根據權利要求3所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。

5.根據權利要求4所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:該支路連接軌道與主軌道的連接處設置有轉撤器。

6.根據權利要求1所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。

7.根據權利要求1至6任一項所述的自動搬送軌道結構,其特征在于:該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。

8.一種自動搬送系統,其特征在于,其包括:

至少一個硅片存儲設備;

軌道結構,包括主軌道和一個或多個支路軌道,該支路軌道具有一段支路主軌道及分別與該支路主軌道和主軌道相連接的支路連接軌道,該支路軌道與硅片存儲設備一一對應而設,并位于硅片存儲設備上方;

至少一輛輸送車,設置于軌道結構上;以及

控制單元,與該輸送車信號連接。

9.根據權利要求8所述的自動搬送系統,其特征在于:該支路主軌道的兩端分別連接有一段支路連接軌道,該兩段支路連接軌道分別連接至該主軌道之上。

10.根據權利要求9所述的自動搬送系統,其特征在于:該支路連接軌道兩端分別具有一段弧形軌道,該弧形軌道分別與支路連接軌道、以及主軌道或支路主軌道相切。

11.根據權利要求10所述的自動搬送系統,其特征在于:每段支路軌道中的弧形軌道與相鄰支路軌道的弧形軌道不相接。

12.根據權利要求11所述的自動搬送系統,其特征在于:該支路連接軌道與主軌道的連接處設置有轉撤器,該轉撤器與控制單元信號連接。

13.根據權利要求8所述的自動搬送系統,其特征在于:該支路主軌道與主軌道通過一段支路連接軌道相連。

14.根據權利要求8至13任一項所述的自動搬送系統,其特征在于:該主軌道、支路主軌道和支路連接軌道位于同一平面。

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