[實用新型]一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201220656550.5
• 申請日: 2012-12-04
• 公開（公告）號: CN203034084U
• 公開（公告）日: 2013-07-03
• 發明（設計）人: 金山
• 申請（專利權）人: 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 陸萬壽

技術領域

本實用新型屬于AMOLED（有源矩陣發光顯示器）技術領域，具體涉及一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置。

背景技術

現有AMOLED制備過程中采用的FMM（Fine?Metal?Mask）蒸鍍技術利用位置固定的點蒸發源（Point?source）對位于其上方的位置固定的基板進行蒸鍍，但是，現有FMM（Fine?Metal?Mask）蒸鍍技術在應用于大型化AMOLED生產后，蒸鍍膜厚度的一致性（uniformity）明顯降低。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用了以下技術方案：

包括與基板相對的可以在與基板平行的平面內移動的蒸發源。

所述蒸發源設置于基板的下方。

所述基板可移動。

所述蒸發源包括若干個呈線型排列的點蒸發源。

所述蒸發源設置于與基板平行的軌道上。

所述蒸發源為單個或者多個。

本實用新型所述移動蒸鍍裝置采用可以移動的蒸發源對基板進行蒸鍍，提高了蒸鍍膜厚度的一致性、均一性，提高了大型化AMOLED的質量，降低了生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖，圖中：基板1，蒸發源2，軌道運動方向一X，軌道運動方向二Y。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

參見圖1，本實用新型包括與基板1相對的可以在與基板1平行的平面內移動的蒸發源2，所述蒸發源2為單個或者多個，所述蒸發源2設置于基板1的下方，所述基板1可移動，所述蒸發源2設置于與基板1平行的軌道上，所述蒸發源2包括若干個呈線型排列的點蒸發源。

實施例

一種移動蒸鍍系統，包括采用向上式蒸鍍方式的線型蒸發源（LinearSource），根據蒸鍍效率要求線型蒸發源的數量可以采用多源（Multi?Source）或者單源（Single?Source），掩模板（Mask）采用多面分割方式制作，以防彎曲，確保品質，掩模板和基板的距離為200-300mm，距離可變更，以注入式投入蒸鍍材料，線型蒸發源沿軌道移動對基板進行蒸鍍，線型蒸發源與軌道可分離，蒸鍍中掩模板同時隨基板一起移動，基板采用線性電機驅動。該蒸鍍系統使得大面積面板玻璃的蒸鍍膜厚管理變得更容易，通過使用多個線型蒸發源，可以提高機器運轉率10%，提高生產效率50%，蒸鍍材料的使用效率比現有方式將會增加50%以上，可進行大面積1300x1500mm的蒸鍍，比較容易進行維護保養。