[實(shí)用新型]一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220656550.5 | 申請日： | 2012-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN203034084U | 公開（公告）日： | 2013-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 金山 | 申請（專利權(quán)）人： | 彩虹（佛山）平板顯示有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 528300 廣東省佛*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 amoled 移動 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：包括與基板（1）相對的可以在與基板（1）平行的平面內(nèi)移動的蒸發(fā)源（2）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸發(fā)源（2）設(shè)置于基板（1）的下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：所述基板（1）可移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸發(fā)源（2）包括若干個呈線型排列的點(diǎn)蒸發(fā)源。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸發(fā)源（2）設(shè)置于與基板（1）平行的軌道上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種用于AMOLED的移動蒸鍍裝置，其特征在于：所述蒸發(fā)源（2）為單個或者多個。
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- 專利分類
C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
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