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[實用新型]一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架有效

專利信息
申請號: 201220648551.5 申請日: 2012-11-30
公開(公告)號: CN202968684U 公開(公告)日: 2013-06-05
發明(設計)人: 李凱;段冰;彭開燁 申請(專利權)人: 四川虹歐顯示器件有限公司
主分類號: C23C14/54 分類號: C23C14/54;C23C14/30;G01B21/08
代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 代理人: 詹永斌
地址: 621000 四川省綿陽市*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 真空鍍膜 測試 支架
【權利要求書】:

1.?一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的支架包括支架加強板(1)、樣品托板(2)和樣品放置口(3),所述的支架加強板(1)與樣品托板(2)之間緊固連接,所述的樣品放置口(3)設置在樣品托板(2)上。

2.?根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的支架加強板(1)的數量是兩條,并且是以樣品托板(2)長邊對稱軸為中心對稱分布在樣品托板(2)的兩側邊緣。

3.?根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:單條所述的支架加強板(1)呈細長矩形狀,其厚度為所述的樣品托板(2)厚度的兩倍至四倍之間。

4.?根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的支架加強板(1)的長邊方向設置有若干個通孔,所有的通孔均沿著支架加強板(1)長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布。

5.?根據權利要求1或者2所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的樣品托板(2)是一個扁平矩形板,在所述的樣品托板(2)上設置有若干個樣品放置口(3)和若干個螺紋孔。

6.?根據權利要求5所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的若干個樣品放置口(3)均沿著樣品托板(2)長邊對稱軸呈“一”字型均勻分布。

7.?根據權利要求5所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的樣品托板(2)上的若干個螺紋孔是以樣品托板(2)長邊對稱軸為中心對稱均勻分布在樣品托板(2)的兩側邊緣,并且與所述的支架加強板(1)上的若干個通孔順序一一對應。

8.?根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的樣品放置口(3)呈“十”字型,中部是矩形通孔,上下端是矩形沉頭槽。

9.?根據權利要求1所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的支架加強板(1)與樣品托板(2)采用緊固螺釘(4)緊固連接。

10.?根據權利要求1或者9所述的一種用于真空鍍膜膜厚測試的支架,其特征在于:所述的支架加強板(1)、樣品托板(2)和緊固螺釘(4)均采用不銹鋼制成。

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