[實用新型]揮發性有機物的回收設備

有效

• 申請號: 201220640941.8
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN203002190U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發明（設計）人: 古鴻賢;陳永福;徐金傳
• 申請（專利權）人: 宏泰電工股份有限公司
• 主分類號: B01D53/74
• 分類號: B01D53/74;F23G7/06
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;李靜

技術領域

本實用新型涉及一種處理設備，尤指一種揮發性有機物的回收設備。

背景技術

按，空氣污染源中，除了車輛所排放的廢氣以外，工業界所排放的廢氣例如石化業、橡膠業、油漆制造業、涂裝業以及近年來逐漸蓬勃發展的半導體制造業等，都會產生具有揮發性有機物（Volatile?organic?compounds；VOCS）的廢氣，因而對于空氣質量造成嚴重污染。

基于VOCs的危害性，環保署自2006年開征VOCs空污費，且計劃在2010年開始提高費率，估計將自原本每公斤12元提高到25~30元。

根據2003年統計資料，臺灣每年排放到大氣中的VOCs超過864,000噸，且研究指出，以焚化法處理低濃度大風量VOCs的難度、所消耗能源及衍生排放的CO2均極高；因此，目前已有許多節能設計被開發出來，例如，半導體業者多數以疏水性沸石轉輪吸附濃縮VOCs，之后將小風量高濃度VOCs進行直接高溫焚化處理或蓄熱式焚化處理。

然而，即使選擇蓄熱式焚化仍需使用燃料。根據TSIA統計資料，目前臺灣前十大半導體業者的瓦斯使用量約26,530,000m³/年，費用約3.9億元/年（以14.65元/m³計算），二氧化碳排放量達到55,700噸/年。

另外，請參閱圖1所示，其為傳統揮發性有機物的處理設備，主要是利用蓄熱式燃燒爐（RTO）以將VOCs氧化為二氧化碳及水。所述揮發性有機物的處理設備100’包括一熱處理設備1’、至少一廢氣排放設備2’、至少一空污防治設備3’、多個進氣管路4’及多個排氣管路5’。其中，廢氣排放設備2’及空污防治設備3’（蓄熱式燃燒爐）的數量可依據制程及環保需求而有所調整，熱處理設備1’具有頂部氣室10’、烘箱11’及底部氣室12’，而揮發性有機廢氣及空氣可分別經由這些進氣管路4’輸入熱處理設備1’的頂部氣室10’、烘箱11’及底部氣室12’，并分別通過這些排氣管路5’進入廢氣排放設備2’及空污防治設備3’。

然而，增設廢氣排放設備或空污防治設備除了會增加設備成本外，考慮到集氣效率（會被濃度和風量等因素所影響）及防治設備破壞率，增設廢氣排放設備及空污防治設備還會降低所述揮發性有機物處理設備的均化控制效率，如式i及ii所示，進而需要給付更多的空污費。

均化控制效率＝集氣效率×防治設備破壞率?????（式i）

空污費＝原料使用量×排放強度×（1-均化控制效率）（式ii）

在節能及暖化議題日益高張之際，業者對于低能源成本、低碳排放的廢氣處理技術的需求隨之日益迫切。于是本發明人有感于上述缺陷的可改善，乃特潛心研究并配合學理的運用，終于提出一種設計合理且有效改善上述缺陷的本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的主要目的，在于解決已知揮發性有機物的處理設備因管路架構的限制而需要增設廢氣排放設備或空污防治設備，導致設備成本及燃料成本增加，且必須給付的大量空污費等技術問題。

為了解決上述的技術問題，本實用新型提供一種揮發性有機物的回收設備，包括一熱處理裝置、一第一進氣裝置、一引氣裝置及一排氣管路，其中，該熱處理裝置具有一頂部、一底部及一位于該頂部與該底部之間的中段部，該第一進氣裝置與該頂部及該底部的其中之一相連接，該引氣裝置分別與該頂部和該底部的其中之一及該中段部相連接，該排氣管路與該中段部相連接。

進一步地，熱處理裝置包括一上行加熱爐及一鄰設于上行加熱爐的下行加熱爐，且上行加熱爐及下行加熱爐各自具有一上氣室、一下氣室及一位于上氣室與下氣室之間的烘箱。

進一步地，上行加熱爐的上氣室與烘箱之間設有一第一上氣簾部，上行加熱爐的下氣室與烘箱之間設有一第一下氣簾部，且下行加熱爐的上氣室與烘箱之間設有一第二上氣簾部，下行加熱爐的下氣室與烘箱之間設有一第二下氣簾部。

進一步地，第一進氣裝置包括一制程氣體產生室及一導氣管路，導氣管路的一端連接制程氣體產生室，且導氣管路的另一端分別與上行加熱爐的第一上氣簾部及下行加熱爐的第二上氣簾部相連接。

進一步地，回收設備還包括一第二進氣裝置，第二進氣裝置具有一空氣供給端、一空氣導入部及一空氣導出部，空氣導入部的一端與空氣供給端相連接，且空氣導入部的另一端分別與上行加熱爐的第一下氣簾部及下行加熱爐的第二下氣簾部相連接，空氣導出部的一端分別與上行加熱爐的第一下氣簾部及下行加熱爐的第二下氣簾部相連接，且空氣導出部的另一端與上行加熱爐的烘箱相連接。