[實用新型]一種紫外激光能量衰減器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220640747.X | 申請日： | 2012-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN202939360U | 公開（公告）日： | 2013-05-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李彬彬;孫丙中 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京鐳寶光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京市盛峰律師事務(wù)所 11337 | 代理人： | 趙建剛 |
| 地址： | 100015 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紫外 激光 能量 衰減器 | ||
1.一種紫外激光能量衰減器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光軸上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，其特征在于：所述1/2波片以所述入射光軸為中心可旋轉(zhuǎn)設(shè)置，所述石英片堆的各鏡片入射面的法線與所述入射光軸成布儒斯特角擺放。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：所述激光入射方向與所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安裝在以所述入射光軸為中心旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)臺上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)臺是手動驅(qū)動或電機驅(qū)動，當(dāng)為電機驅(qū)動時，驅(qū)動電機為步進電機、直流電機或伺服電機。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：所述1/2波片，其波長為355nm、266nm、或351nm波長。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于：所述1/2波片或者具有對入射激光的0度減反膜，或者不鍍膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：所述石英片堆由4片到10片數(shù)量能夠增減的石英鏡片組成，所述石英鏡片不鍍膜，材質(zhì)為紫外波段透過率高的石英，所述石英鏡片的形狀為圓形、橢圓形或多邊形。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于：每片所述石英鏡片的兩個光學(xué)表面間成一定楔角，楔角度數(shù)典型值為10分到3度之間的任意角度值。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于：所述石英片堆的每片鏡片入射面的法線均與入射激光成布儒斯特角擺放。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：所述激光吸收器安置在石英片堆兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于：所述激光器采用波長為355nm、266nm或351nm的激光光源。
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