[實用新型]一種紫外激光能量衰減器

有效

• 申請號: 201220640747.X
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN202939360U
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 李彬彬;孫丙中
• 申請（專利權）人: 北京鐳寶光電技術有限公司
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;G02B27/28
• 代理公司: 北京市盛峰律師事務所 11337
• 代理人: 趙建剛

技術領域

本實用新型涉及激光器技術領域，更具體的說是涉及一種固體激光器的能量衰減裝置，尤其是涉及一種紫外激光能量衰減器。

背景技術

使用電光調Q的固體激光器具有較高的峰值功率和較緊湊的結構，在科研、加工、醫學、軍事等方面有著廣泛的應用。

很多應用情況下，激光器使用者需要在不改變激光器模式、光束質量的前提下調節能量的大小，這時多采用一種傳統的能量調節方式，如圖1所示，入射激光依次經過相對應波長的1/2波片7和偏振片8，通過調節1/2波片的軸向，改變入射激光的偏振方向，根據不同偏振方向的激光經過偏振片時的透射率不同，對入射激光的能量進行調節。

在使用以上傳統方法對于紫外激光進行能量調節時，發現對于大能量的脈沖紫外激光，沒有損傷閾值足夠高的紫外波長偏振片，在大能量脈沖紫外激光的轟擊下，現在能夠做出的紫外偏振片會很快出現損傷并被破壞，無法長期使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于設計一種新型的紫外激光能量衰減器，解決上述問題。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案如下：

一種紫外激光能量衰減器，包括沿激光入射方向依次放置在激光器的入射光軸上的1/2波片、石英片堆和激光吸收器，所述1/2波片以所述入射光軸為中心可旋轉設置，所述石英片堆的各鏡片入射面的法線與所述入射光軸成布儒斯特角擺放。

所述激光入射方向與所述1/2波片的入射角小于5度，所述1/2波片安裝在以所述入射光軸為中心旋轉的轉臺上。

所述轉臺是手動驅動或電機驅動，當為電機驅動時，驅動電機為步進電機、直流電機或伺服電機。

所述1/2波片，其波長為355nm、266nm、或351nm波長。

所述1/2波片或者具有對入射激光的0度減反膜，或者不鍍膜。

所述石英片堆由4片到10片數量能夠增減的石英鏡片組成，所述石英鏡片不鍍膜，材質為紫外波段透過率高的石英，所述石英鏡片的形狀為圓形、橢圓形或多邊形。

每片所述石英鏡片的兩個光學表面間成一定楔角，楔角度數典型值為10分到3度之間的任意角度值。

所述石英片堆的每片鏡片入射面的法線均與入射激光成布儒斯特角擺放。

所述激光吸收器安置在石英片堆兩側。

所述激光器采用波長為355nm、266nm或351nm的激光光源。

本實用新型中，1/2波片可以改變輸入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光經過石英片堆時的反射率不同，實現通過偏振方式對于紫外激光能量的連續調節。此外，在本實例中，光學元件損傷閾值高，性能穩定，適用于大能量密度的激光使用。

本實用新型的有益效果可以總結如下：

1，本實用新型中，1/2波片可以改變輸入的紫外激光的偏振方向，由于不同偏振方向的激光經過石英片堆時的反射率不同，實現通過偏振方式對于紫外激光能量的連續調節。

2，本實用新型光學元件損傷閾值高，性能穩定，適用于大能量密度的激光使用。

附圖說明

圖1為一種傳統的激光能量偏振衰減器示意圖；

圖2為本實用新型紫外激光能量衰減器結構示意圖；

圖3至圖6分別主視方向、俯視方向、左視方向和右視方向的本實用新型紫外激光能量衰減器機械結構多視角2D示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型所解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。