[實用新型]晶片拾取組件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220640330.3
• 申請日: 2012-11-28
• 公開（公告）號: CN202930370U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 龔守鈞
• 申請（專利權(quán)）人: 逸昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/66
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 任默聞

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型是有關(guān)一種晶片拾取組件，特別是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體測試設(shè)備并利用負(fù)壓吸取晶片的拾取組件。

背景技術(shù)

晶片測試機臺用于對晶片進(jìn)行相關(guān)的電性測試，此類的晶片測試機臺其作業(yè)方式為依序為將一待測晶片自待測區(qū)移至機臺的測試區(qū)內(nèi)，再利用一吸嘴拾取待測晶片，將其移至待測區(qū)的插座進(jìn)行電性測試。

圖1所示為傳統(tǒng)兩節(jié)式吸嘴組件1，包含一上桿件1a、一下吸嘴1b以及一夾具2。夾具2用以固定上桿件1a及下吸嘴1b。下吸嘴1b為中空的桿件，其內(nèi)部形成一空間S，其與夾具2的一排氣孔(未圖示)連接，透過一排氣裝置自排氣孔抽取空氣而使下吸嘴1b內(nèi)部的空間形成負(fù)壓時，于吸氣孔1c吸取一晶片。組裝此兩節(jié)式吸嘴組件時，上桿件1a與下吸嘴1b的垂直軸線必須對準(zhǔn)，且須調(diào)整上桿件1a、下吸嘴1b的位置而控制總長L。由于晶片測試機臺需測試不同批次的晶片而須經(jīng)常更換下吸嘴1b，而下吸嘴1b一經(jīng)更換則須花費時間重新對準(zhǔn)上桿件1a并校正上桿件1a及下吸嘴1b所組成的總長L。此外，于晶片測試機臺運作中，上桿件1會反復(fù)下壓以使吸嘴組件1向下移動以吸取或釋放晶片，在長時間使用下，上桿件1a或下吸嘴1b會因下壓力量產(chǎn)生移位而使總長L縮短，為了減少使總長L維持不變，螺絲3需用力旋緊以緊固上桿件1a及下吸嘴1b，如此易導(dǎo)致螺絲3崩牙損壞。

故此，如何使加強吸嘴組件的對準(zhǔn)定位、并使校正總長度時間有效縮短以提升產(chǎn)能，是目前改良晶片測試制程的重要課題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種晶片拾取組件，利用一體成型的吸取管，使夾具固定晶片拾取組件時，無須花費長時間對準(zhǔn)定位，且一體成型的吸取管的總長度可維持固定不變，亦可避免因長度變異所造成吸嘴與晶片接觸不良的問題。

本實用新型一實施例的晶片拾取組件包含一吸取管以及一夾具。吸取管的一端具有一吸氣孔，且吸取管于壁面具有一排氣孔，吸取管為一體成型且內(nèi)部具有一空間，其與吸氣孔及排氣孔氣體連通。夾具用以夾持吸取管，夾具包含一抽氣管，其與排氣孔氣體連通，其中一抽氣單元經(jīng)由抽氣管抽取空氣，藉以使吸取管內(nèi)部空間形成負(fù)壓時，于吸氣孔以氣流吸取一晶片；及當(dāng)抽氣管停止抽取空氣，空間之負(fù)壓狀態(tài)解除時，吸氣孔釋放晶片。

優(yōu)選的，所述空間為一端封閉、一另端開放的氣體通道，且封閉的該端位于所述排氣孔上方；及開放的該另端位于所述吸氣孔處。

優(yōu)選的，所述吸氣孔開口的直徑大于等于所述空間的該另端開口的直徑。

優(yōu)選的，所述夾具包含一主體，所述主體的一端具有一緊固部，且所述吸取管是穿設(shè)出所述主體的所述緊固部，并與所述主體呈垂直設(shè)置。

優(yōu)選的，所述主體的一另端具有一定位孔；一定位插銷是貫穿所述定位孔，并與所述主體呈垂直設(shè)置，以固定所述晶片拾取組件于一半導(dǎo)體設(shè)備上。

優(yōu)選的，所述抽氣管設(shè)置于由所述主體邊緣朝水平方向突出的一突出部上，且與所述主體平行，其中一氣體通道設(shè)置于所述主體內(nèi)部并介于所述抽氣管與所述緊固部之間，以使所述抽氣管與所述吸取管的所述排氣孔氣體連通。

優(yōu)選的，所述抽氣管與所述吸取管為一體成型。

以下通過具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當(dāng)更容易了解本實用新型的目的、技術(shù)內(nèi)容、特點及其所達(dá)成的功效。

附圖說明

圖1為傳統(tǒng)兩節(jié)式吸嘴組件示意圖。

圖2為本實用新型一實施例的晶片拾取組件外觀。

圖3a為本實用新型一實施例的吸取管外觀。

圖3b為一縱向剖視圖，顯示本實用新型一實施例的吸取管的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

圖4為一剖面圖，顯示本實用新型一實施例的晶片拾取組件沿圖2的AA線的剖面結(jié)構(gòu)。

附圖標(biāo)號：

1吸嘴組件

1a上桿件

1b下吸嘴

1c,11c吸氣孔

2,20夾具

3螺絲

10晶片拾取組件

11吸取管

11b排氣孔

21主體

21a端

21b另端

22定位插銷

23緊固部

24抽氣管

25突出部

26定位孔

27氣體通道

S空間

Sa端

Sb另端

L總長

具體實施方式

其詳細(xì)說明如下，所述較佳實施例僅做一說明非用以限定本實用新型。