[實用新型]一種電容式觸摸屏雙面鍍膜磁控濺射生產線

有效

• 申請號: 201220634135.X
• 申請日: 2012-11-27
• 公開（公告）號: CN202913052U
• 公開（公告）日: 2013-05-01
• 發明（設計）人: 郭愛云;黃國興;孫桂紅;祝海生;梁紅;黃樂
• 申請（專利權）人: 湘潭宏大真空技術股份有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 湘潭市匯智專利事務所 43108
• 代理人: 顏昌偉

技術領域

本實用新型涉及一種電容式觸摸屏雙面鍍膜磁控濺射生產線。?

背景技術

電容式觸摸屏是在玻璃表面鍍上一層透明的特殊導電物質。當手指觸摸在玻璃上時，觸點的電容就會發生變化，使得與之相連的振蕩器頻率發生變化，通過測量頻率變化可以獲得確定的觸摸位置信息。電容屏的工作原理是：電容式觸摸屏在觸摸屏四邊均鍍上狹長的電極，在導電體內形成一個低電壓交流電場。在觸摸屏幕時，由于人體電場，手指與導體層間會形成一個耦合電容，四邊電極發出的電流會流向觸點，而電流強弱與手指到電極的距離成正比，位于觸摸屏幕后的控制器便會計算電流的比例及強弱，準確算出觸摸點的位置。電容觸摸屏的雙玻璃不但能保護導體及感應器，更有效地防止外在環境因素對觸摸屏造成影響，就算屏幕沾有污穢、塵埃或油漬，電容式觸摸屏依然能準確算出觸摸位置。?

近年來，由于電容式觸摸屏具有抗損傷、耐劃傷、易清潔、靈敏度高、可以實現多觸點工作和可開發性強的特點；美國蘋果公司（Apple）、韓國三星公司（Samsung）、芬蘭諾基亞（Nokia）、中國聯想（Lenovo）和中國中興（ZTE）等手機廠商大量采用觸摸屏技術。觸摸屏的需求量巨大，而現有的生產觸摸屏鍍膜玻璃的生產線大都不能批量化連續的生產，生產效率低下，難以滿足市場需求。?

觸摸屏結構內具有以下幾種薄膜和相應的鍍膜方式：?

1、氧化銦錫（ITO）透明導電層，采用直流磁控濺射鍍膜方式；

2、鉬鋁鉬（MoAlMo）復合金屬電極層，采用直流磁控濺射鍍膜方式；

3、氧化鈮（Nb2O5）光學介質層，采用中頻磁控濺射鍍膜方式；

4、氧化硅（SiO2）光學介質層，采用中頻磁控濺射鍍膜方式；

5、雙面氧化銦錫（ITO）鍍膜技術；

6、雙面氧化鈮（Nb2O5）光學介質層和氧化硅（SiO2）光學介質層鍍膜技術。

????現有的生產觸摸屏鍍膜玻璃的生產線大都只能滿足一種薄膜材料的鍍膜，而不能同時滿足多種薄膜材料鍍膜的不同工藝的要求，因此生產不同的鍍膜觸摸屏，需要不同的生產線，成本高，不僅如此，最近由于觸摸屏結構設計的進步，采用了一種雙面透明導電膜玻璃，需要同時進行雙面濺射鍍ITO透明導電膜，原有的生產線并不能滿足同時進行雙面沉積鍍膜的濺射沉積工藝。?

實用新型內容

????為了解決上述問題，本實用新型提供了一種電容式觸摸屏雙面鍍膜磁控濺射生產線，實現了電容式觸摸屏玻璃雙面同時鍍膜的批量連續生產工藝，且一條生產線不僅可滿足單面生產線的工藝，同時可以進行單片玻璃雙面鍍膜。?

本實用新型采用的技術方案是：包括多個真空腔體和多個腔體支架，所述的真空腔體安裝在腔體支架上，內部設有內傳送系統，真空腔體依次分為進口真空段、進口緩沖真空段、進口過渡真空段、工藝鍍膜真空段、出口過渡真空段、出口緩沖真空段和出口真空段七段；?

所述的進口真空段，進口處設有翻板閥，兩側設有腔體維修門，附近設有由機械泵與羅茲泵組成的前級抽氣系統，前級抽氣系統通過抽氣管道與進口真空段的底部連接；

所述的進口緩沖真空段與進口真空段連接處設有翻板閥或插板閥，進口緩沖真空段一側設有六位二裝分子泵高真空抽氣系統，另一側設有六位一裝分子泵高真空抽氣系統，進口緩沖真空段的底部通過分子泵抽氣連接耦合器分別與前級抽氣連接管道、六位二裝分子泵高真空抽氣系統和六位一裝分子泵高真空抽氣系統連接；進口緩沖真空段附近設有由機械泵與羅茲泵組成的前級抽氣系統，前級抽氣系統通過抽氣管道與前級抽氣連接管道連接；

所述的進口過渡真空段與進口緩沖真空段連接處設有翻板閥或插板閥，進口過渡真空段的兩側各安裝有六位一裝分子泵高真空抽氣系統一組，六位一裝分子泵高真空抽氣系統錯位布置，進口過渡真空段的底部通過分子泵抽氣連接耦合器分別與分子泵高真空抽氣系統和抽氣連接管道連接；

所述的工藝鍍膜真空段包括多個工藝真空模塊和至少一個工藝隔離真空模塊，真空隔離模塊的一側安裝有六位三裝分子泵門，另一側安裝有六位二裝分子泵門；真空隔離模塊底部通過分子泵抽氣連接耦合器分別與六位三裝分子泵門、六位二裝分子泵門和抽氣連接管道連接；每個工藝真空模塊的兩側均安裝有三位一裝分子泵門和雙陰極門，兩側的三位一裝分子泵門與雙陰極門錯位布置，工藝真空模塊的底部通過分子泵抽氣連接耦合器分別與三位一裝分子泵門和抽氣連接管道連接；工藝鍍膜真空段附近設有由機械泵與羅茲泵組成的前級抽氣系統；前級抽氣系統通過抽氣管道與抽氣連接管道連通；