[實用新型]冷卻水循環銅管

有效

• 申請號: 201220632745.6
• 申請日: 2012-11-26
• 公開（公告）號: CN202996795U
• 公開（公告）日: 2013-06-12
• 發明（設計）人: 王煒;謝偉皓;許國清
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;F28F9/26
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本實用新型涉及一種半導體集成電路制造設備，特別是涉及一種冷卻水循環銅管。

背景技術

傳統的冷卻水運用于高密度等離子設備中，傳統的冷卻水循環銅管(cooling?coil)材質為銅，它使用焊接的方式將固定腳12焊接到銅管11上，固定腳12與高密度等離子設備(未標出)之間再使用螺絲13固定，如圖1所示。固定腳12與銅管11之間因采用焊接方式進行連接，焊接處會對銅管有損傷，相對比較薄弱，使用一段時間后焊接處會因為腐蝕導致裂縫，出現滲漏，所以一般使用壽命為2年左右。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種冷卻水循環銅管，能在不影響設備散熱冷卻的前提下，冷卻水管的壽命大大提高。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種冷卻水循環銅管，包括固件腳、銅管及固定件，所述固定腳包括上下兩個銅塊，形狀設計貼合銅管，采用所述上下兩個銅塊夾緊銅管，并使用至少2個固定件進行固定。

進一步的，所述固定件為螺絲。

進一步的，有一所述固定件的底部穿過所述固定腳，用于將所述冷卻水循環銅管，固定在高密度等離子設備上。

進一步的，所述銅管用其他金屬管代替。

進一步的，所述銅塊用其他金屬塊代替。

本實用新型冷卻水循環銅管，在不影響散熱的基礎上，大大增加了使用壽命，減低設備故障時間，提高設備使用率。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明：

圖1是公知的冷卻水循環銅管結構示意圖；

圖2是本實用新型冷卻水循環銅管第一實施例結構示意圖；

圖3是本實用新型冷卻水循環銅管第二實施例結構示意圖。

主要附圖標記說明：

銅管11??????????????????????固定腳12

螺絲13

銅管21??????????????????????固定腳22

固定件23

銅管31??????????????????????固定腳32

固定件33????????????????????固定件331

具體實施方式

為使貴審查員對本實用新型的目的、特征及功效能夠有更進一步的了解與認識，以下配合附圖詳述如后。

如圖2所示，為本實用新型冷卻水循環銅管第一實施例結構示意圖，對固定腳22進行重新設計，包括上下兩個銅塊，形狀設計貼合銅管21，使用至少2個固定件23進行固定，如圖所示，固定腳22采用上下兩個銅塊夾緊銅管21的方式固定，即不影響散熱，又不會損傷銅管21，大大增加了使用壽命，將其使用壽命提高至5年以上，并且提高了使用壽命，大大減少由于銅管漏水導致的設備故障時間，提高設備使用率。所述固定件可以為螺絲。所述銅管可以用其他金屬管代替，所述銅塊可以用其他金屬塊代替。

如圖3所示，為本實用新型冷卻水循環銅管第二實施例結構示意圖，其與第一實施例的不同點在于，第二實施例的固定件33中有一個固定件331的底部穿過固定腳32，用于將本實用新型冷卻水循環銅管，固定在高密度等離子設備(圖中為標出)上。所述固定件33、固定件331可以為螺絲。

以上通過具體實施例對本實用新型進行了詳細的說明，但這些并非構成對本實用新型的限制。在不脫離本實用新型原理的情況下，本領域的技術人員還可做出許多變形和改進，這些也應視為本實用新型的保護范圍。