[實(shí)用新型]冷卻水循環(huán)銅管有效

申請?zhí)枺?/td>	201220632745.6	申請日：	2012-11-26
公開（公告）號：	CN202996795U	公開（公告）日：	2013-06-12
發(fā)明（設(shè)計）人：	王煒;謝偉皓;許國清	申請（專利權(quán)）人：	上海華虹NEC電子有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67;F28F9/26
代理公司：	上海浦一知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211	代理人：	丁紀(jì)鐵
地址：	201206 上***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	冷卻水循環(huán) 銅管
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【權(quán)利要求書】：

1.一種冷卻水循環(huán)銅管，其特征在于，包括固件腳、銅管及固定件，所述固定腳包括上下兩個銅塊，形狀設(shè)計貼合銅管，采用所述上下兩個銅塊夾緊銅管，并使用至少2個固定件進(jìn)行固定。?

2.如權(quán)利要求1所述的冷卻水循環(huán)銅管，其特征在于，所述固定件為螺絲。?

3.如權(quán)利要求1所述的冷卻水循環(huán)銅管，其特征在于，有一所述固定件的底部穿過所述固定腳，用于將所述冷卻水循環(huán)銅管，固定在高密度等離子設(shè)備上。?

4.如權(quán)利要求1-3任一項所述的冷卻水循環(huán)銅管，其特征在于，所述銅管用除銅管以外的其他金屬管代替。?

5.如權(quán)利要求1-3任一項所述的冷卻水循環(huán)銅管，其特征在于，所述銅塊用除銅塊以外的其他金屬塊代替。?

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專利分類

H 電學(xué)

H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造

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說明：

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書；

2、支持發(fā)明專利、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計專利（升級中）；

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