[實用新型]防著板、防著板-靶材組件及等離子體濺射設備有效
| 申請號： | 201220632542.7 | 申請日： | 2012-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN203007392U | 公開（公告）日： | 2013-06-19 |
| 發明（設計）人： | 趙欣凱;劉勃;李勝斌;李正勛;金相起;車奉周;劉占偉 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 羅建民;鄧伯英 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 防著 組件 等離子體 濺射 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種防著板，設置于設有靶材的等離子體濺射設備中，其特征在于，所述的防著板包括用于遮擋靶材上表面邊緣的突出部，所述靶材的上表面是指所述靶材的被等離子體轟擊的表面。
2.如權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述突出部的縱截面為矩形。
3.如權利要求1所述的防著板，其特征在于，所述防著板的突出部具有向外傾斜的側面。
4.如權利要求1至3中任意一項所述的防著板，其特征在于，所述的防著板還具有設在靶材側方的支撐部，所述突出部連接于所述支撐部。
5.如權利要求4所述的防著板，其特征在于，所述防著板的支撐部的兩側各連接有一個突出部。
6.一種防著板-靶材組件，包括靶材和設在靶材邊緣處的防著板，其特征在于，所述防著板為權利要求1至5中任意一項所述的防著板。
7.如權利要求6所述的防著板-靶材組件，其特征在于，所述的靶材的縱截面為矩形。
8.如權利要求6所述的防著板-靶材組件，其特征在于，所述的靶材靠近防著板的一側具有從靶材中心向外向下傾斜的上表面。
9.一種等離子體濺射設備，其包括如權利要求6-8任一所述的防著板-靶材組件。
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