[實用新型]一種用于集成電路封裝的可彈性調整的壓焊夾具有效
| 申請號: | 201220628899.8 | 申請日: | 2012-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN202977379U | 公開(公告)日: | 2013-06-05 |
| 發明(設計)人: | 王巖;王淑香 | 申請(專利權)人: | 蘇州密卡特諾精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/607 | 分類號: | H01L21/607;H01L21/687;B23K37/04 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103 | 代理人: | 馬明渡 |
| 地址: | 215123 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 集成電路 封裝 彈性 調整 夾具 | ||
技術領域
本實用新型屬于集成電路封裝領域,具體為一種用于集成電路封裝的可彈性調整的壓焊夾具,應用于集成電路封裝過程中的打線鍵合過程,特別適用于多引腳小引腳集成電路的超聲波打線鍵合過程。
背景技術
在集成電路(IC)制造過程中,晶圓封裝是封裝制成中的一個步驟,即將晶粒上的焊點透過極細的金線連接到引線框之內的引腳,進而將集成電路晶粒的電路訊號傳輸至外界,晶圓封裝后再進行封膜、切割、折彎、測試等工序,即出成品。其中所用的引線框一般為銅片,銅片上具有鍍銀的載體。
晶圓封裝時要使用壓焊夾具,壓焊夾具包括底座(又稱加熱塊,即封裝時還需加熱等)和壓板,底座上開設吸孔,而壓板包括本體和設于本體上的窗框體,底座、引線框和壓板由下往上依次疊置。底座上經吸孔吸真空吸住引線框,再向壓板加壓壓住引線框。引線框上的鍍銀載體上放置晶粒,壓板上的窗框體位置對應晶粒,晶粒從窗框體的窗口中露出,窗框體的框部壓住晶粒周側的引腳,采用超聲波焊接將晶粒上的焊點與引線框之內的引腳連接,該過程即稱打線鍵合。
現有的壓焊夾具的壓板的窗框體與本體是一體結構,即窗框體是固定在本體上的不能上下浮動,因此在壓住引腳的壓合過程中全為硬接觸,缺少彈性。而目前的集成電路技術發展已經趨于多引腳小引腳的方向,對于這種多引腳小引腳的集成電路,壓焊過程由于超聲波的強烈作用,眾多的小引腳很容易發生振動,造成壓合效果不良、打線不良、虛焊等,最終導致產品功能報廢。
實用新型內容
本實用新型提供一種用于集成電路封裝的可彈性調整的壓焊夾具,在壓住引線框時可以隨引腳的振動而上下浮動,穩穩壓住引腳,避免了壓焊時的打線不良、虛焊等,良品率大大提高。
為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案是:一種用于集成電路封裝的可彈性調整的壓焊夾具,包括底座和壓板,其中壓板包括本體和設于該本體上的窗框體,使用時底座、引線框和壓板由下往上依次疊置,引線框上承載著晶粒,壓焊時壓板上的窗框體壓住晶粒周側的引腳,對晶粒和引腳進行焊接,壓板的本體上具有板簧機構和限位部,其中板簧機構包括一簧片和一球體,所述簧片的一側固定在本體上,另一側的下表面經所述球體與窗框體的上表面活動接觸;所述限位部對窗框體的向下運動進行限位;所述板簧機構與限位部的配合使窗框體可沿著本體上下浮動。
上述技術方案中的有關內容解釋如下:
1、上述方案中,所述“上、下”是依據壓焊時的方向為基準。
2、上述方案中,所述壓板上對應一個窗框體布置至少兩個所述板簧機構,這至少兩個板簧機構均勻設于窗框體的周側。
3、上述方案中,所述簧片為三角形,該三角形的底部一側固定在所述壓板的本體上,三角形的頂角一側的下表面經所述球體與窗框體的上表面活動接觸。
4、上述方案中,所述球體為硬質球體,所述窗框體的上表面上開設一凹槽,硬質球體的一部分嵌入該凹槽中,另一部分的表面與所述簧片的下表面接觸,以使簧片的下表面經該硬質球體與窗框體的上表面活動接觸。
5、上述方案中,所述限位部為臺階結構。
本實用新型工作原理是:晶圓封裝時,底座、引線框和壓板由下往上依次疊置,引線框上放置晶粒,壓板的窗框體的框部壓住晶粒周側的引腳,進行打線鍵合。壓板的窗框體和其本體是分體結構,本體上具有板簧機構和限位部,板簧機構包括簧片和球體,簧片一側固定在本體上,另一側的下表面經球體與窗框體的上表面活動接觸,球體即是活動支點。限位部對窗框體的向下運動進行限位。限位部與板簧機構的配合使窗框體可沿著本體上下浮動,在采用超聲波等焊接工藝時當引腳上下振動時,壓住引腳的窗框體及其框部也隨之上下浮動,穩穩壓合住引腳,可避免打線不良、虛焊等,提升產品質量,大大降低廢品率,特別適用于多引腳小引腳的集成電路封裝的打線鍵合過程。
由于上述技術方案運用,本實用新型與現有技術相比具有下列優點:
1、本實用新型用于壓住晶粒引腳的窗框體可上下浮動,可穩穩壓住引腳,有效避免集成電路封裝時的打線不良、虛焊等現象的發生。
2、本實用新型簧片為三角形,三角形的底部一側固定在壓板的本體上,三角形的頂角一側的下表面經球體與窗框體的上表面活動接觸,彈性好,使窗框體上下浮動靈活。
3、本實用新型球體為硬質球體(一般采用鋼球),窗框體的上表面上開設凹槽,硬質球體的一部分嵌入凹槽中,另一部分的表面與簧片的下表面接觸,結構簡單,成本低,且耐用,使用壽命長。
附圖說明
圖1為本實用新型實施例的壓板從窗框體部位剖開的剖視圖;
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