[實用新型]一種硅片托舉模塊

有效

• 申請號: 201220620302.5
• 申請日: 2012-11-19
• 公開（公告）號: CN202940223U
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發明（設計）人: 方劍宇;王均昭;蔣雷俊;徐斌
• 申請（專利權）人: 無錫德鑫太陽能電力有限公司;無錫尚德太陽能電力有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及太陽電池制造領域，特別涉及一種硅片托舉模塊。

背景技術

在太陽電池制造過程中，當通過絲網印刷或涂敷的方式在硅片上涂敷金屬漿料后，需將硅片設置在烘箱中將所述金屬漿料烘干，所述烘烤溫度通常為200～400℃。現有技術中一種從日本引進的烘箱工作流程如下：機械臂將硅片送入烘箱中的行走臂上后，硅片托舉模塊抬起硅片進行烘干，烘一定時間后托舉模塊下降將硅片放在行走臂上，行走臂攜帶硅片向前移動，移動到位后硅片托舉模塊再抬起硅片烘干，于此同時行走臂返回。每片硅片在烘箱內完成上述流程9次后出烘箱由機械手搬入下一工序。

參見圖1，上述行走臂包括四個按矩形排布的支撐塊10、12、14和16，所述硅片3通過線接觸方式放置在所述行走臂上且通過其水平傳輸，所述四個按矩形排布的支撐塊10、12、14和16均為沿矩形中心至外部內薄外厚的楔形，所述硅片3與四個楔形的支撐塊10、12、14和16線接觸。所述托舉模塊設置在行走臂下端且可沿豎直方向將硅片從行走臂上托舉起來或放置在行走臂上，所述托舉模塊包括四個按矩形排布的托舉板20、22、24和26且與硅片3線接觸。所述四個按矩形排布的托舉板20、22、24和26均為沿矩形中心至外部內薄外厚的楔形，所述硅片3與四個楔形的托舉板20、22、24和26線接觸，所述托舉板20、22、24和26豎直放置且采用不銹鋼材料制作，且托舉板20和22通過連接板連接，托舉板24和26也通過連接板連接。

由于烘箱內處于高溫裝態，另外硅片托舉模塊托舉頻繁導致硅片托舉模塊的托舉板20、22、24和26與硅片接觸的位置容易磨損出凹槽，硅片容易卡在凹槽中在托舉模塊將硅片3放入行走臂上時容易造成碎片。

因此，如何提供一種硅片托舉模塊以解決托舉板磨損而導致碎片過多的問題，已成為業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是要提供一種硅片托舉模塊，通過所述托舉模塊可降低硅片的碎片率，并提高托舉模塊的使用壽命。

為實現上述目的，本實用新型提供一種硅片托舉模塊，設置在烘烤裝置內，所述烘烤裝置設置有行走臂，所述行走臂包括四個按矩形排布的支撐塊，所述硅片通過線接觸方式放置在所述行走臂上且通過其水平傳輸，所述托舉模塊設置在行走臂下端且可沿豎直方向將硅片從行走臂上托舉起來或放置在行走臂上，所述托舉模塊包括四個按矩形排布的托舉板，所述托舉板與所支撐的硅片線接觸，所述托舉板上直接與硅片接觸的部位套設有護套。

在一較佳實施例中，所述護套為具有貫通凹槽的硅膠墊，所述凹槽與所述托舉板相匹配。

在一較佳實施例中，所述四個按矩形排布的支撐塊均為沿矩形中心至外部內薄外厚的楔形，所述硅片與四個楔形的支撐塊線接觸，所述支撐塊豎直設置。

在進一步的較佳實施例中，所述四個按矩形排布的托舉板均為沿矩形中心至外部內薄外厚的楔形，所述硅片與四個楔形的托舉板線接觸，所述托舉板豎直設置。

在一較佳實施例中，所述托舉模塊的四個托舉板兩個為一組設置，且每組的兩個托舉板通過連接板連接。

在一較佳實施例中，所述烘烤裝置鄰接印刷機臺設置，用于烘干通過印刷機臺印刷在硅片上的金屬漿料。

與現有技術中托舉模塊上未設置護套容易導致托舉板磨損產生凹槽，從而易造成碎片相比，本實用新型的托舉模塊在托舉板直接與硅片接觸的位置設置硅膠護套，從而有效降低硅片碎片率，并有效提高托舉模塊的使用壽命。

附圖說明

圖1為現有技術中托舉模塊的應用示意圖；

圖2為本實用新型的硅片托舉模塊的應用示意圖；

圖3為圖2中護套4的組成結構示意圖。

具體實施方案

下面結合具體實施例及附圖來詳細說明本實用新型的目的及功效。

參見圖2，結合參見圖3，本實用新型的硅片托舉模塊設置在烘烤裝置內，所述烘烤裝置設置有行走臂，所述烘烤裝置鄰接印刷機臺設置，用于烘干通過印刷機臺印刷在硅片上的金屬漿料，所述硅片3通過線接觸方式放置在所述行走臂上且通過其水平傳輸。在本實施例中，所述烘烤裝置為烘箱，其烘烤溫度范圍300～500℃。

所述行走臂包括四個按矩形排布的支撐塊10、12、14和16，所述四個按矩形排布的支撐塊10、12、14和16均為沿矩形中心至外部內薄外厚的楔形，所述硅片3與四個楔形的支撐塊10、12、14和16線接觸，所述支撐塊10、12、14和16豎直設置。