[實用新型]一種壓力傳感器芯體有效
| 申請號： | 201220617534.5 | 申請日： | 2012-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN202928730U | 公開（公告）日： | 2013-05-08 |
| 發明（設計）人： | 袁曉斌;陳龍;張妮妮;劉秀娥 | 申請（專利權）人： | 西安微納傳感器研究所有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16;G01L9/08;G01L19/14 |
| 代理公司： | 西安西交通盛知識產權代理有限責任公司 61217 | 代理人： | 申美鵑 |
| 地址： | 710054 陜西省西安市雁塔區*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓力傳感器芯體，其特征在于，包括圓柱狀的殼體（1），在所述殼體（1）的上端設置有水平凹槽（4），所述水平凹槽（4）內焊接有SOI芯片（2）。
2.根據權利要求1所述的壓力傳感器芯體，其特征在于，所述殼體（1）內設置有引線電極，所述SOI芯片（2）的壓焊點電極通過金絲（3）與殼體（1）的引線電極連接。
3.根據權利要求1所述的壓力傳感器芯體，其特征在于，所述殼體（1）的下部設置有環形凹槽（5）。
4.根據權利要求1所述的壓力傳感器芯體，其特征在于，所述殼體（1）的上端直徑小于下端直徑。
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