[實用新型]加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機

有效

• 申請號: 201220617452.0
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202925092U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 李忠河;李智遠
• 申請（專利權）人: 李忠河
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/34
• 代理公司: 齊齊哈爾鶴城專利事務所 23207
• 代理人: 劉麗

技術領域

本實用新型涉及一種注入機，尤其涉及一種加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，屬于工業機械設備技術領域。

背景技術

目前公知的真空濺射離子注入機多為整體結構，對超長管，大口徑鋼材內壁鍍膜處理有很大困難，本人于2007年申報的專利號為200720115499.6的專利“大型多功能真空濺射離子注入機”，完全解決了這個問題，在近幾年的實際應用中取得了很好效果，但經過使用發現一些不足，特別是爐體左、右扇開合方面，采用開合油缸開合，存在費時費力、復雜繁瑣，在爐蓋、爐底盤結構以及密封結構方面不盡人意，在工件旋轉傳動方面采用滾珠傳動，存在定位精度差等諸多缺陷。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，采用在軌道車上安裝的液壓機械抓手控制爐體左右扇開合，結構簡單，方便實用。工件旋轉傳動方面采用推力軸承，使傳動更加平穩，大大提高了鍍膜質量。爐蓋和爐底盤采用整體空心結構，中間加有梯形密封圈，提高密封效果，縮短生產時間，提高了生產效率。

本實用新型解決其技術問題所采取的技術方案是：加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，它是由爐體上蓋部分、可開合爐體部分、爐體下座部分、液壓控制軌道車部分組成。爐體上蓋部分與可開合爐體部分的連接是爐體上蓋部分的爐蓋通過其孔、爐蓋密封圈用螺栓與可開合爐體部分的爐體左扇和爐體右扇的半圓連板連接。爐體上蓋部分與爐體下座部分的連接是爐體上蓋部分的靶芯和工件分別與爐體下座部分的連接軸和緊固螺栓連接。爐體下座部分與可開合爐體部分的連接是爐體下座部分的爐底盤通過其孔和底盤密封圈用螺栓與可開合爐體部分的爐體左扇和爐體右扇的半圓連板連接?？砷_合爐體部分與液壓控制軌道車部分的連接是液壓控制軌道車部分的液壓機械抓手與可開合爐體部分的爐體左扇連接。所述的爐體上蓋部分是由爐蓋、球座、定位球體、靶芯緊固螺母、懸掛吊筒、連桿、連接圈、靶芯、工件、T型密封圈、梯形密封圈、吊裝架、冷卻進水管構成，在爐蓋上分別連接有冷卻進水管和吊裝架，在爐蓋的中心孔上通過梯形密封圈連接懸掛吊筒，懸掛吊筒下端通過連桿和連接圈連接有工件，懸掛吊筒的上端與靶芯的凸肩連接，靶芯的凸肩上端依次連接定位球體和T型密封圈并通過靶芯上端螺紋連接有靶芯緊固螺母，在懸掛吊筒外周連接的定位球體和爐蓋之間連接有球座。所述的可開合爐體部分是由多節爐體左扇和多節爐體右扇連接構成，多節爐體左扇和多節爐體右扇自身相互連接是通過其半圓連板上的連接螺孔和半圓密封墊用螺栓連接起來，連接后的多節爐體左扇和多節爐體右扇的可開合連接是通過其連接立板上的開口連接孔和密封條用螺栓連接起來。所述的爐體左扇與爐體右扇結構相同，是由內壁、外壁、半圓連板、連接立板構成，內壁和外壁的上下端分別連接半圓連板，封口端連接有連接立板，在半圓連板上外圈設有連接螺孔，內圈設有冷卻水通孔，在連接立板上設有開口連接孔。所述的爐體下座部分是由變速箱、小傘齒輪、大傘齒輪、爐底盤、緊固螺栓、支板、圓轉盤、連接軸、推力軸承、梯形密封圈、爐體支腳、出水管構成，在爐底盤的下端分別連接有爐體支腳和出水管，在爐底盤的中心孔通過梯形密封圈連接有連接軸，連接軸下端通過大傘齒輪和小傘齒輪與變速箱連接，連接軸上端凹孔與靶芯連接，連接軸上端面與圓轉盤連接，在爐底盤上面與圓轉盤之間通過連接軸連接有推力軸承，在圓轉盤上通過支板連接有緊固螺栓。所述的液壓控制軌道車部分是由軌道、軌道輪、軌道車、液壓控制機構、液壓機械抓手構成，在軌道車下端連接軌道輪，軌道輪與軌道連接，在軌道車內設有液壓控制機構，液壓控制機構連接有液壓機械抓手。所述的爐蓋和爐底盤結構相同，均為空心結構并設有進水孔和出水孔。

本實用新型的有益效果是：可開合爐體部分是由多節爐體左扇和多節爐體右扇連接構成，適合加工長型和超長型工件，爐體左扇和爐體右扇采用在軌道車上安裝的液壓機械抓手控制開合，結構簡單，方便實用。工件旋轉傳動方面采用推力軸承，爐蓋和爐底盤采用整體空心結構，中間加有梯形密封圈。整機具有傳動平穩，密封效果好，提高了鍍膜質量，縮短了生產時間，提高了生產效率。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型做進一步說明。

圖1是本實用新型加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機結構示意圖。

圖2是圖1的爐體上蓋部分結構示意圖。

圖3是圖1的爐體左扇結構示意圖。

圖4是圖1的爐體右扇結構示意圖。

圖5是圖1的爐體下座部分結構示意圖。

圖中標號