[實用新型]加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機

有效

• 申請號: 201220617452.0
• 申請日: 2012-11-21
• 公開（公告）號: CN202925092U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發明（設計）人: 李忠河;李智遠
• 申請（專利權）人: 李忠河
• 主分類號: C23C14/48
• 分類號: C23C14/48;C23C14/34
• 代理公司: 齊齊哈爾鶴城專利事務所 23207
• 代理人: 劉麗

1.一種加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，它是由爐體上蓋部分、可開合爐體部分、爐體下座部分、液壓控制軌道車部分組成；其特征在于：爐體上蓋部分與可開合爐體部分的連接是爐體上蓋部分的爐蓋（1）通過其孔、爐蓋密封圈（41）用螺栓與可開合爐體部分的爐體左扇（21）和爐體右扇（22）的半圓連板（25）連接；爐體上蓋部分與爐體下座部分的連接是爐體上蓋部分的靶芯（8）和工件（9）分別與爐體下座部分的連接軸（38）和緊固螺栓（35）連接；爐體下座部分與可開合爐體部分的連接是爐體下座部分的爐底盤（34）通過其孔和底盤密封圈（44）用螺栓與可開合爐體部分的爐體左扇（21）和爐體右扇（22）的半圓連板（25）連接；可開合爐體部分與液壓控制軌道車部分的連接是液壓控制軌道車部分的液壓機械抓手（15）與可開合爐體部分的爐體左扇（21）連接。

2.根據權利要求1所述的加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，其特征在于：所述的爐體上蓋部分是由爐蓋（1）、球座（2）、定位球體（3）、靶芯緊固螺母（4）、懸掛吊筒（5）、連桿（6）、連接圈（7）、靶芯（8）、工件（9）、T型密封圈（42）、梯形密封圈（43）、吊裝架（51）、冷卻進水管（53）構成，在爐蓋（1）上分別連接有冷卻進水管（53）和吊裝架（51），在爐蓋（1）的中心孔上通過梯形密封圈（43）連接懸掛吊筒（5），懸掛吊筒（5）下端通過連桿（6）和連接圈（7）連接有工件（9），懸掛吊筒（5）的上端與靶芯（8）的凸肩連接，靶芯（8）的凸肩上端依次連接定位球體（3）和T型密封圈（42）并通過靶芯（8）上端螺紋連接有靶芯緊固螺母（4），在懸掛吊筒（5）外周連接的定位球體（3）和爐蓋（1）之間連接有球座（2）。

3.根據權利要求1所述的加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，其特征在于：所述的可開合爐體部分是由多節爐體左扇（21）和多節爐體右扇（22）連接構成，多節爐體左扇（21）和多節爐體右扇（22）自身相互連接是通過其半圓連板（25）上的連接螺孔（27）和半圓密封墊（45）用螺栓連接起來，連接后的多節爐體左扇（21）和多節爐體右扇（22）的可開合連接是通過其連接立板（26）上的開口連接孔（29）和密封條（46）用螺栓連接起來;所述的爐體左扇（21）與爐體右扇（22）結構相同，是由內壁（23）、外壁（24）、半圓連板（25）、連接立板（26）構成，內壁（23）和外壁（24）的上下端分別連接半圓連板（25），封口端連接有連接立板（26），在半圓連板（25）上外圈設有連接螺孔（27），內圈設有冷卻水通孔（28），在連接立板（26）上設有開口連接孔（29）。

4.根據權利要求1所述的加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，其特征在于：所述的爐體下座部分是由變速箱（31）、小傘齒輪（32）、大傘齒輪（33）、爐底盤（34）、緊固螺栓（35）、支板（36）、圓轉盤（37）、連接軸（38）、推力軸承（39）、梯形密封圈（43）、爐體支腳（52）、出水管（54）構成，在爐底盤（34）的下端分別連接有爐體支腳（52）和出水管（54），在爐底盤（34）的中心孔通過梯形密封圈（43）連接有連接軸（38），連接軸（38）下端通過大傘齒輪（33）和小傘齒輪（32）與變速箱（31）連接，連接軸（38）上端凹孔與靶芯（8）連接，連接軸（38）上端面與圓轉盤（37）連接，在爐底盤（34）上面與圓轉盤（37）之間通過連接軸（38）連接有推力軸承（39），在圓轉盤（37）上通過支板（36）連接有緊固螺栓（35）。

5.根據權利要求1所述的加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，其特征在于：所述的液壓控制軌道車部分是由軌道（11）、軌道輪（12）、軌道車（13）、液壓控制機構（14）、液壓機械抓手（15）構成，在軌道車（13）下端連接軌道輪（12），軌道輪（12）與軌道（11）連接，在軌道車（13）內設有液壓控制機構（14），液壓控制機構（14）連接有液壓機械抓手（15）。

6.根據權利要求1所述的加長型多功能液壓控制真空濺射離子注入機，其特征在于：所述的爐蓋（1）和爐底盤（34）結構相同，均為空心結構并設有進水孔和出水孔。