[實用新型]一種用于吸取MEMS芯片的吸嘴

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220610741.8
• 申請日: 2012-11-16
• 公開（公告）號: CN202930369U
• 公開（公告）日: 2013-05-08
• 發(fā)明（設計）人: 韓林森;龔平;王從亮
• 申請（專利權）人: 無錫華潤安盛科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 無錫互維知識產權代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛偉

1.一種用于吸取MEMS芯片的吸嘴，其中所述MEMS芯片設有硅層，所述硅層上表面形成一感應膜區(qū)域，所述吸嘴包括吸嘴本體，和在所述吸嘴本體內形成有供吸取芯片的氣體通過的氣體通道，其特征在于：在吸嘴的末端自吸嘴表面圍繞所述氣體通道向內凹陷形成一個與所述氣體通道連通的避空槽，所述避空槽的面積大于所述感應膜區(qū)域的面積。

2.如權利要求1所述的吸嘴，其特征在于：所述MEMS芯片還設有玻璃層,所述玻璃層與所述硅層形成空腔。

3.如權利要求1所述的吸嘴，其特征在于：所述吸嘴本體上端為圓柱體，下端為漸縮的錐臺形，錐臺的末端為矩形、圓形或三角形。

4.如權利要求1或3所述的吸嘴，其特征在于：所述避空槽為矩形、圓形或三角形。

5.如權利要求1所述的吸嘴，其特征在于：所述氣體通道包括位于吸嘴本體內上端開口的四方通道和與四方通道的下端開口連通的圓柱通道，所述四方通道的直徑比圓柱通道的直徑大。