[實用新型]一種修整雙面拋光機大盤的修盤裝置有效
| 申請號： | 201220610093.6 | 申請日： | 2012-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN202964416U | 公開（公告）日： | 2013-06-05 |
| 發明（設計）人： | 庫黎明;閆志瑞;索思卓;王永濤;葛鐘;葉松芳;魯進軍 | 申請（專利權）人： | 有研半導體材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/12 | 分類號： | B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100 | 代理人： | 郭佩蘭 |
| 地址： | 100088 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 修整 雙面 拋光機 大盤 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種修整雙面拋光機大盤的修盤裝置，其特征在于，該裝置包括圓形的載體，該載體的外周具有齒，該載體上設有用于承載砂輪的孔，砂輪安裝在該孔中并突出該載體的表面，該砂輪由該載體帶動。
2.根據權利要求1所述的修整雙面拋光機大盤的修盤裝置，其特征在于，所述載體的厚度為1～50mm。
3.根據權利要求1所述的修整雙面拋光機大盤的修盤裝置，其特征在于，所述砂輪的厚度為1～50mm。
4.根據權利要求1所述的修整雙面拋光機大盤的修盤裝置，其特征在于，所述砂輪由Al2O3顆粒制作而成，其粒徑為100～5000目。
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