[實用新型]一種采用機器修復硅片倒角的裝置

有效

• 申請號: 201220606604.7
• 申請日: 2012-11-16
• 公開（公告）號: CN202943504U
• 公開（公告）日: 2013-05-22
• 發明（設計）人: 徐勇兵;高敏
• 申請（專利權）人: 晶科能源有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王學強

技術領域

本實用新型涉及一種硅片倒角修復裝置，尤其是一種采用機器修復硅片倒角的裝置。

背景技術

在現有晶體硅片由于人工修復邊緣時，會造成倒角異常，無法人工修復,至使硅片成為次品。

發明內容

本實用新型發明的目的在于提供一種采用機器修復硅片倒角裝置，該裝置通過將硅片放在倒角機上，裝夾裝置固定硅片，使用倒角砂輪來修復硅片的倒角。

本實用新型的技術方案為：

一種采用機器修復倒角裝置，包括倒角機V槽、硅片、硅塊、裝夾裝置；其中：硅片和硅塊置于倒角機V槽內，硅塊設置于硅片兩側，裝夾裝置設置在硅塊上，硅塊通過裝夾裝置緊固硅片。

本實用新型的優點在于：利用機器修復硅片倒角，可以減少因倒角不良而廢棄的硅片，降低了生產使用成本，同時也提高了硅片的正品率。

附圖說明

附圖1是本實用新型硅片倒角修復裝置結構示意圖。

附圖標記：倒角機V槽1、硅片2、硅塊3、裝夾裝置4。

具體實施方式

實施例1、一種采用機器修復倒角裝置，包括倒角機V槽1、硅片2、硅塊3、裝夾裝置4；其中：硅片2和硅塊3置于倒角機V槽1內，硅塊3設置于硅片2兩側，裝夾裝置4設置在硅塊3上，硅塊3通過裝夾裝置4緊固硅片2。

工作原理：

將需修復倒角的硅片2整理好，并置于同一側，需倒角的兩個鄰邊必須平齊，將硅塊3置于硅片2的兩側并用裝夾裝置4加緊，保持硅塊、硅片需修復的倒角鄰邊平齊，在整體置于倒角機V槽1內，調整倒角機的移動速度，并啟動倒角機，用手扶著硅片，待硅片整體通過倒角砂輪后取出硅片2，硅片2的倒角就修復整齊了。