[實用新型]一種采用機器修復硅片倒角的裝置有效
| 申請號: | 201220606604.7 | 申請日: | 2012-11-16 |
| 公開(公告)號: | CN202943504U | 公開(公告)日: | 2013-05-22 |
| 發明(設計)人: | 徐勇兵;高敏 | 申請(專利權)人: | 晶科能源有限公司 |
| 主分類號: | B24B9/06 | 分類號: | B24B9/06 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 王學強 |
| 地址: | 334100 江西*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 采用 機器 修復 硅片 倒角 裝置 | ||
【權利要求書】:
1.一種采用機器修復硅片倒角的裝置,包括倒角機V槽(1)、硅片(2)、硅塊(3)、裝夾裝置(4);其特征在于:硅片(2)和硅塊(3)置于倒角機V槽(1)內,硅塊(3)設置于硅片(2)兩側,裝夾裝置(4)設置在硅塊(3)上,硅塊(3)通過裝夾裝置(4)緊固硅片(2)。
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