[實用新型]用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置

有效

• 申請號: 201220603701.0
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN203103270U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 唐強;張健
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型屬于半導體技術領域，涉及一種時間繼電器，特別是涉及一種用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置。

在半導體集成電路制造過程中，晶片在化學機械研磨機臺中經過拋光后，要繼續經過一系列的清洗步驟，除去在拋光過程中，晶片表面所殘留的研磨液，以及微粒等臟污，用以保證晶片后續加工制造過程中的質量，從而完整的完成化學機械研磨的工藝。現有的晶片拋光、清洗均是由自動化機臺完成，以美國NOVELLUS公司生產的化學研磨機臺IPEC776為例，該機臺在晶片加工過程中，由于軟件發生故障較多而造成機臺程序紊亂，進而導致機臺無法動作，且該機臺沒有防呆報警裝置，在設計上存在一定的缺陷，而這種缺陷會使處于機臺研磨頭下及清洗裝置中的晶片長時間被研磨液等化學品腐蝕而導致報廢；此外，機臺若因故障停止生產而不被察覺，更會導致生產中斷，影響進度等嚴重后果。

為解決上述問題，本領域技術人員提出了一種用于晶片加工機臺的防呆計時報警裝置，該裝置包括判斷模和報警模塊；其中判斷模塊是用于在晶片加工過程中通過所述機臺上的信號輸出端子判斷所述機臺是否無動作；所述報警模塊是用于在當前判斷出所述機臺無動作時發出報警。判斷模塊可采用具有判斷計時時間是否大于設定值功能的計時器。該防呆計時報警裝置雖然在一定程度上解決了機臺發生故障而不被察覺的問題，但在對晶片精度要求日益提高的今天，其遠遠無法滿足生產的需求。

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，用于解決現有技術中晶片加工進度不精確的問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置。

一種用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，包括：數字輸入端口、數字輸出端口、繼電器模塊、報警模塊；所述數字輸入端口用于輸出控制信號給晶片加工機臺；所述數字輸出端口用于采集晶片加工機臺的信號；所述繼電器模塊與所述數字輸入端口和數字輸出端口分別相連，通過輸入所述從晶片加工機臺采集到的信號觸發控制信號和報警信號，并將控制信號輸出給數字輸入端口；所述報警模塊與所述繼電器模塊相連，用以接收所述報警信號發出報警。

優選地，所述繼電器模塊包括并聯的第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器；所述第一繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第一繼電器的輸出端接地；所述第二繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第二繼電器的控制端與所述數字輸入端口相連，第二繼電器的報警端與所述報警模塊相連；所述第三繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第三繼電器的控制端與所述數字輸入端口相連，第三繼電器的報警端與所述報警模塊相連。

優選地，所述數字輸出端口包括A3管腳、B3管腳、A4管腳、B4管腳、A5管腳、B5管腳；所述數字輸出端口的A3管腳與晶片加工機臺的電源相連，所述數字輸出端口的B3管腳與所述數字輸出端口的A3管腳相連；所述數字輸出端口的A4管腳與所述第二繼電器的第3管腳相連，數字輸出端口的B4管腳與第二繼電器的第1管腳相連；所述數字輸出端口的A5管腳與所述第三繼電器的第3管腳相連，數字輸出端口的B5管腳與第三繼電器的第1管腳相連。

優選地，所述第一繼電器的一端與所述數字輸出端口的B3管腳相連，第一繼電器的另一端接地。

優選地，所述第一繼電器的一端與所述數字輸出端口的B3管腳相連，第一繼電器的另一端接地。

優選地，所述數字輸入端口包括A5管腳、B5管腳、A7管腳、B7管腳；所述數字輸入端口的A5管腳與所述第二繼電器的第9管腳相連，數字輸入端口的B5管腳與第二繼電器的第8管腳相連；所述數字輸入端口的A7管腳與所述第三繼電器的第9管腳相連，數字輸入端口的B7管腳與第三繼電器的第8管腳相連。

優選地，所述第二繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報警模塊的一端相連，所述第二繼電器的第6管腳與所述報警模塊的另一端相連；所述第二繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。

優選地，所述第三繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報警模塊的一端相連，所述第三繼電器的第6管腳與所述報警模塊的另一端相連；所述第三繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。

優選地，所述第一繼電器為常規繼電器；所述第二繼電器和第三繼電器均為時間繼電器。

如上所述，本實用新型所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，具有以下有益效果：