[實用新型]用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置

有效

• 申請號: 201220603701.0
• 申請日: 2012-11-15
• 公開（公告）號: CN203103270U
• 公開（公告）日: 2013-07-31
• 發明（設計）人: 唐強;張健
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

一種用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于，所述用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置包括：?

數字輸入端口，用于輸出控制信號給晶片加工機臺；?

數字輸出端口，用于采集晶片加工機臺的信號；?

繼電器模塊，與所述數字輸入端口和數字輸出端口分別相連，通過輸入所述從晶片加工機臺采集到的信號觸發控制信號和報警信號，并將控制信號輸出給數字輸入端口；?

報警模塊，與所述繼電器模塊相連，用以接收所述報警信號發出報警。?

根據權利要求1所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述繼電器模塊包括并聯的第一繼電器、第二繼電器、第三繼電器；所述第一繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第一繼電器的輸出端接地；所述第二繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第二繼電器的控制端與所述數字輸入端口相連，第二繼電器的報警端與所述報警模塊相連；所述第三繼電器的輸入端與所述數字輸出端口相連，第三繼電器的控制端與所述數字輸入端口相連，第三繼電器的報警端與所述報警模塊相連。?

根據權利要求2所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述數字輸出端口包括A3管腳、B3管腳、A4管腳、B4管腳、A5管腳、B5管腳；所述數字輸出端口的A3管腳與晶片加工機臺的電源相連，所述數字輸出端口的B3管腳與所述數字輸出端口的A3管腳相連；所述數字輸出端口的A4管腳與所述第二繼電器的第3管腳相連，數字輸出端口的B4管腳與第二繼電器的第1管腳相連；所述數字輸出端口的A5管腳與所述第三繼電器的第3管腳相連，數字輸出端口的B5管腳與第三繼電器的第1管腳相連。?

根據權利要求3所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述第一繼電器的一端與所述數字輸出端口的B3管腳相連，第一繼電器的另一端接地。?

根據權利要求2所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述數字輸入端口包括A5管腳、B5管腳、A7管腳、B7管腳；所述數字輸入端口的A5管腳與所述第二繼電器的第9管腳相連，數字輸入端口的B5管腳與第二繼電器的第8管腳相連；所述數字輸入端口的A7管腳與所述第三繼電器的第9管腳相連，數字輸入端口的B7管腳與第三繼電器的第8管腳相連。?

根據權利要求3所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述第二繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報警模塊的一端相連，所述第二繼電器的第6管腳與所述報警模塊的另一端相連；所述第二繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。?

根據權利要求3所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述第三繼電器的第5管腳通過外部電源與所述報警模塊的一端相連，所述第三繼電器的第6管腳與所述報警模塊的另一端相連；所述第三繼電器的第5管腳和第6管腳之間連有一電容。?

根據權利要求2至7任意一項所述的用于監控晶片加工機臺的工序進度的裝置，其特征在于：所述第二繼電器和第三繼電器均為時間繼電器。?