[實用新型]一種新型藍寶石晶體生長爐籽晶腔室

有效

• 申請號: 201220601421.6
• 申請日: 2012-11-14
• 公開（公告）號: CN202881451U
• 公開（公告）日: 2013-04-17
• 發明（設計）人: 滑喜寶
• 申請（專利權）人: 吳江億泰真空設備科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00;C30B15/28;G01G17/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及藍寶石晶體生長爐的加工制造，尤其是一種藍寶石晶體生長爐籽晶腔室。?

背景技術

目前藍寶石晶體生長爐多采用俄羅斯技術，俄羅斯技術的缺陷在于使用壓電傳感器，靠籽晶桿對傳感器產生剪切力來產生重量的電信號，其晶體生長爐波紋管置于稱重傳感器下端，在晶體升降和旋轉的過程中，波紋管的移動會產生不穩定信號，給稱重值造成很大的干擾。對于初學操作者來說，對于晶體生長的判斷比較困難，同時對晶體的生長也不利。?

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種藍寶石晶體生長爐籽晶腔室，用于提高重量測量的精度。?

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案為：一種藍寶石晶體生長爐籽晶腔室，包括籽晶升降伺服機構，籽晶旋轉伺服機構，籽晶桿，腔室冷卻系統，稱重系統和波紋管，其特征在于，所述籽晶旋轉伺服機構固定于波紋管的上端，所述波紋管上端連接于籽晶升降伺服機構上，下端連接于上爐蓋上的籽晶通孔上，所述稱重系統和腔室冷卻系統密封于波紋管內，所述稱重系統包括2只壓力傳感器，承重托盤和支撐盤，所述冷卻系統為一金屬換熱板，懸掛于支撐盤的下面。?

上述一種藍寶石晶體生長爐籽晶腔室，其特征在于，所述支撐盤與波紋管上端固定連接，其上放置有壓力傳感器，所述壓力傳感器上放置有承重托盤，所述承重托盤下面固定有籽晶桿。?

本實用新型的優點在于：極大地提高了重量測量精度，設計方便，造價低。?

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。?

圖1是藍寶石晶體生長爐整體示意圖。?

圖2是籽晶腔室示意圖。?

具體實施方式

圖1和圖2所示，藍寶石晶體生長爐包括籽晶腔室1，爐體2和上爐蓋16。籽晶腔室1包括籽晶升降伺服機構3，籽晶旋轉伺服機構，籽晶桿8，腔室冷卻系統，稱重系統和波紋管10。籽晶旋轉伺服機構固定于波紋管上端14，波紋管上端14連接于籽晶升降伺服機構3上，下端連接于上爐蓋16上的籽晶通孔9上，稱重系統和腔室冷卻系統密封于波紋管10內，稱重系統包括2只壓力傳感器12，承重托盤4和支撐盤5，支撐盤5與波紋管上端14固定連接，其上放置有壓力傳感器12，壓力傳感器12上放置有承重托盤4，承重托盤4上固定有籽晶桿8，籽晶桿8通過上爐蓋16上的籽晶通孔9。冷卻系統為一金屬換熱板11，懸掛于支撐盤5的下面，由金屬換熱板水管13連接到波紋管上端14上。整個波紋管10靠籽晶升降伺服機構3帶動上下移動。?