[實(shí)用新型]一種新型藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220601421.6 | 申請日： | 2012-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN202881451U | 公開（公告）日： | 2013-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 滑喜寶 | 申請（專利權(quán)）人： | 吳江億泰真空設(shè)備科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/20 | 分類號： | C30B29/20;C30B35/00;C30B15/28;G01G17/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省吳*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 新型 藍(lán)寶石 晶體生長 籽晶 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，包括籽晶升降伺服機(jī)構(gòu)，籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機(jī)構(gòu)，籽晶桿，腔室冷卻系統(tǒng)，稱重系統(tǒng)和波紋管，其特征在于，所述籽晶旋轉(zhuǎn)伺服機(jī)構(gòu)固定于波紋管的上端，所述波紋管上端連接于籽晶升降伺服機(jī)構(gòu)上，下端連接于上爐蓋上的籽晶通孔上，所述稱重系統(tǒng)和腔室冷卻系統(tǒng)密封于波紋管內(nèi)，所述稱重系統(tǒng)包括2只壓力傳感器，承重托盤和支撐盤，所述冷卻系統(tǒng)為一金屬換熱板，懸掛于支撐盤的下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種藍(lán)寶石晶體生長爐籽晶腔室，其特征在于，所述支撐盤與波紋管上端固定連接，其上放置有壓力傳感器，所述壓力傳感器上放置有承重托盤，所述承重托盤下端固定有籽晶桿。
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