[實用新型]硅片缺陷檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220596967.7
• 申請日: 2012-11-13
• 公開（公告）號: CN203011849U
• 公開（公告）日: 2013-06-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 肖穎婕;劉小宇;黃憶華;張瑋華;謝均
• 申請（專利權(quán)）人: 上海太陽能工程技術(shù)研究中心有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 上海科盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 楊元焱

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種質(zhì)量檢測設(shè)備，尤其涉及一種硅片缺陷檢測裝置。

背景技術(shù)

硅片可能存在材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等故障，這些故障在后繼的制造過程或使用中，會使太陽電池的性能劣化，所以需要在前期予以檢測。目前，太陽電池生產(chǎn)線上，硅片的缺陷檢測手段大多是依靠人工目視的檢測方法，漏檢率和誤差率非常高，影響了太陽電池生產(chǎn)的質(zhì)量和進(jìn)度。因此，無接觸式的動態(tài)監(jiān)測規(guī)模生產(chǎn)中硅片缺陷故障的狀況，對各種缺陷故障問題進(jìn)行統(tǒng)計分析，對盡可能早地鑒別缺陷類型及其可能的成因以便于能及時發(fā)現(xiàn)工藝或設(shè)備中的問題而避免更多的成品率損失顯得非常必要。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的，就是為了提供一種硅片缺陷檢測裝置，以實現(xiàn)在生產(chǎn)線上對硅片進(jìn)行動態(tài)檢測。

為了達(dá)到上述目的，本實用新型采用了以下技術(shù)方案：一種硅片缺陷檢測裝置，設(shè)置在生產(chǎn)線中硅片的路徑上，包括硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī)；硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片的正下方激發(fā)硅片發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片的正上方檢測硅片的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī)，計算機(jī)通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片的缺陷參數(shù)。

所述的硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括激光器和光源電源，激光器設(shè)置在硅片的正下方，激光器將發(fā)出的光投射到硅片上激發(fā)硅片發(fā)光，光源電源與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。

所述的紅外成像機(jī)構(gòu)前端設(shè)有濾光片。

本實用新型的硅片缺陷檢測裝置通過激光器激發(fā)待測硅片產(chǎn)生特定波長的發(fā)光信號，通過紅外成像機(jī)構(gòu)和計算機(jī)檢測并處理硅片發(fā)出的特定波長的發(fā)光信號，得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。能方便快速地檢測出硅片材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等缺陷，并且實現(xiàn)了無接觸檢測，具有結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、缺陷參數(shù)檢測可靠精確等優(yōu)點和特點。

附圖說明

圖1是本實用新型硅片缺陷檢測裝置的基本結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

參見圖1，本實用新型硅片缺陷檢測裝置，設(shè)置在生產(chǎn)線中硅片1的路徑上，包括硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2、紅外成像機(jī)構(gòu)5和計算機(jī)7。

硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2設(shè)置在硅片1的正下方激發(fā)硅片1發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)5設(shè)置在硅片的正上方檢測硅片1的發(fā)光信號并將其傳輸?shù)接嬎銠C(jī)7，計算機(jī)7通過安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片1的缺陷參數(shù)。

激光器激發(fā)機(jī)構(gòu)2包括激光器3和光源電源4，激光器3設(shè)置在硅片1的正下方，激光器3將發(fā)出的光投射到硅片1上激發(fā)硅片1發(fā)光，光源電源4與激光器3相連向激光器3提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。

在紅外成像機(jī)構(gòu)5的前端設(shè)有濾光片6。

在檢測過程中，首先利用激光器發(fā)出的光激發(fā)待測硅片，激光器發(fā)光強(qiáng)度的大小通過對光源電源的控制來實現(xiàn)。由于硅片在被激發(fā)后會產(chǎn)生特定波長的發(fā)光信號，通過檢測并處理硅片發(fā)出的特定波長的發(fā)光信號，從而得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。