[實用新型]靶片可移動的離子注入機

有效

• 申請號: 201220594743.2
• 申請日: 2012-11-01
• 公開（公告）號: CN202905662U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 崔保群;曹耀輝;李志軍;路瑞亮
• 申請（專利權）人: 秦皇島博碩光電設備股份有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種離子注入機，特別是涉及靶片可移動的離子注入機。

背景技術

離子注入技術越來越體現出其優越性，尤其是在太陽能電池生產過程中對于硅中P離子的摻雜應用方面越來越體現出其顯著的優越性，它能將光電轉換率由原來的POCl工藝的18.7％轉化為19.2％，這一轉換率的提高帶來了顯著的經濟和社會效益。而現有的離子注入機通常采用整形磁鐵對離子束進行整形，注入到靶片上，得到注入均勻的靶片。采用上述設備造價高，給企業造成了相當高的成本壓力。

實用新型內容

本實用新型的目的是，針對現有技術離子注入機需采用整形磁鐵對離子束進行整形，使設備造價高、工藝復雜的不足，提供一種工藝簡單且設備造價低的靶片可移動的離子注入機。

本實用新型的目的是通過下述技術方案實現的：

一種靶片可移動的離子注入機，包括設置有放電室的離子源系統、設置有引出縫和引出電極的引出系統、設置有所述靶片的靶室，以及使所述靶片可移動的移動裝置，離子束由所述的引出縫引出后通過引出電極進入所述的靶室，所述的移動裝置使所述的靶片在所述靶室內垂直于所述的引出縫的長度方向移動；

所述的離子源系統由RF電源驅動；

天線設置在所述放電室的頂部外；

天線沿所述引出縫的長度方向設置；

所述天線沿所述引出縫的長度方向設置；

所述的引出縫設置在所述放電室的底部；

所述的引出電極由抑制電極和地電極組成。

采用本實用新型結構的離子注入機，由離子源產生的離子束，由引出縫引入到靶室，得到的離子束形狀均勻，而靶片在垂直于引出縫的長度方向上運動，所以無需整形磁鐵對引出的離子束進行整形，就可得到均勻注入的靶片，省去了價格昂貴的整形磁鐵、降低了離子注入機的價格、簡化了離子注入的工藝。

附圖說明

圖1為本實用新型靶片可移動的離子注入機實施例結構示意圖。

附圖標記說明：

11-天線??12-放電室??13-引出縫??14-抑制電極??15-地電極??16-真空室

17-閥門??18-靶室??19-靶片

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型做進一步地描述：

如圖1所示，本實施例的靶片可移動的離子注入機，包括設置有放電室12的離子源系統、真空室16、引出縫13和引出電極。引出縫13設置在放電室12的底部，引出電極設置在真空室16的頂部內，離子束由引出縫13引出放電室12，經由引出電極進入靶室18，在靶室18內設置有靶片的移動裝置，該移動裝置能帶動靶片19在垂直于引出縫13的長度方向移動。本結構的離子注入機，可得到離子注入均勻的靶片。為了得到束形更為均勻的離子束，使得靶片獲得的注入離子更均勻，采用RF電源驅動離子源，天線11與放電室12絕緣設置，天線11沿引出縫13的長度方向設置，電極采用抑制電極14和地電極15組成。

上述結構的離子注入機，放電功率由放電室外的天線饋送入放電室，放電室內沒有金屬制成的電極，消除了金屬電極引入的金屬離子。

本實用新型采用RF電源驅動離子源，采用縫引出，引出的離子束為帶狀束，這樣，當靶片在垂直于引出縫的長度方向上運動時就得到離子注入均勻的靶片，適合于批量生產。天線沿引出縫長度方向設置，提高放電室內等離子體在引出縫方向的均勻性，使引出的純離子束在長度方向具有良好的均勻性，以利于批量生產太陽能電池。