[實用新型]一種結電容測試裝置

有效

• 申請號: 201220591686.2
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN203084083U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發明（設計）人: 佘超群;朱陽軍;陸江;成星;高振鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

技術領域

本實用新型涉及半導體器件測試領域，尤其是涉及一種結電容測試裝置。?

背景技術

功率半導體器件的結電容參數一般包括輸入電容、輸出電容、反饋電容三項，是反映器件結構特性、動態時間參數的重要指標。按照測試條件要求，測試不同的結電容參數時需連接不同的測試線路，并外接旁路電容、旁路電阻等無源器件元件，對功率半導體器件的管腳施加直流電壓及高頻信號來測試相應的電容參數。?

目前，測量34毫米半橋連接功率器件的結電容參數的方法主要是在該器件中間的三個電極處安裝相應大小的螺絲，使用鱷魚夾夾住螺絲，用焊線或者繞線的方法向該器件的電極處引線，之后將引線與LCR測量儀連接從而實現測量結電容參數。該方法測試34毫米半橋連接功率器件結電容參數時，由于需要使用焊線或者繞線的方法向電極處引線，因此操作過程較復雜，并且操作者如不小心，容易引起短路、觸電等事故，導致器件的損壞，尤其是高溫焊接時容易造成柵極損壞，此外該方法對人員的安全性也較差。?

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題在于提供一種結電容測試裝置，從而不需要使用焊線或者繞線的方法向電極處引線即可實現對34毫米半橋連接功率器件的結電容參數的測量，以便于操作人員更加簡單、并且安全性更高的測量該器件的結電容參數。?

為此，本實用新型解決技術問題的技術方案是：?

本實用新型提供了一種結電容測試裝置，所述裝置包括：測試板和固定夾具；?

所述測試板的測試面有五個金屬突起，各個金屬突起對應連接34毫米半橋連接功率器件的一個電極，并且各個金屬突起對應連接的電極之間互不導通，所述五個金屬突起的底部與結電容測試電路相連；?

所述固定夾具用于將所述34毫米半橋連接功率器件與所述測試板的測試面壓緊。?

優選地，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；第一、第二和第三測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第一、第二和第三測試點中相鄰測試點之間的距離為23毫米，第四測試點和第五測試點關于所述直線對稱，所述第三測試點與所述第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點和第五測試點之間的距離為26毫米。?

優選地，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第一和第二測試點之間的距離為46毫米，所述第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測試點和第五測試點關于所述第一和第二測試點所在的直線對稱，所述第三測試點與第五測試點之間的距離為26毫米，所述第四測試點與所述第三測試點之間的距離為4.5毫米，所述第二測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點與所述器件對應連接的電極和所述第一測試點與所述器件對應連接的電極之間不導通。?

優選地，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第一和第二測試點之間的距離為23毫米，所述第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測試點和第五測試點關于所述第一和第二測試點所在的直線對稱，所述第三測試點與第五測試點之間的距離為26毫米，所述第四測試點與所述第五測試點之間的距離為4.5毫米，所述第二測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點與所述器件對應連接的電極和所述第一測試點與所述器件對應連接的電極之間不導通。?

優選地，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第二、第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第二測試點與第三測試點之間的距離為4.5毫米，所述第三測試點與所述第四測試點之間的距離為17毫米，所述第四測試點與第五測試點之間的距離為4.5毫米，所述第一測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米。?

優選地，所述裝置還包括：底部為所述測試板的測試盒體，所述測試盒體用于放置34毫米半橋連接功率器件；?

所述固定夾具為所述測試盒體的盒體蓋。?

優選地，所述裝置還包括：包含所述測試盒體的外部模塊。?

優選地，所述34毫米半橋連接功率器件包括第一IGBT和第二IGBT；?

所述結電容測試電路包括：第一、第二、第三和第四開關、旁路電阻、偏置電感以及旁路電容；?

直流電源連接節點與旁路電容的第一端和高電平測試連接節點相連；低電平測試連接節點與旁路電阻的第一端相連；所述偏置電感的第一端與地電平相連；?