[實用新型]一種結電容測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220591686.2
• 申請日: 2012-11-09
• 公開（公告）號: CN203084083U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設計）人: 佘超群;朱陽軍;陸江;成星;高振鵬
• 申請（專利權）人: 中國科學院微電子研究所
• 主分類號: G01R27/26
• 分類號: G01R27/26
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種結電容測試裝置，其特征在于，所述裝置包括：測試板和固定夾具；

所述測試板的測試面有五個金屬突起，各個金屬突起對應連接34毫米半橋連接功率器件的一個電極，并且各個金屬突起對應連接的電極之間互不導通，所述五個金屬突起的底部與結電容測試電路相連；

所述固定夾具用于將所述34毫米半橋連接功率器件與所述測試板的測試面壓緊。

2.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；第一、第二和第三測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第一、第二和第三測試點中相鄰測試點之間的距離為23毫米，第四測試點和第五測試點關于所述直線對稱，所述第三測試點與所述第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點和第五測試點之間的距離為26毫米。

3.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第一和第二測試點之間的距離為46毫米，所述第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測試點和第五測試點關于所述第一和第二測試點所在的直線對稱，所述第三測試點與第五測試點之間的距離為26毫米，所述第四測試點與所述第三測試點之間的距離為4.5毫米，所述第二測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點與所述器件對應連接的電極和所述第一測試點與所述器件對應連接的電極之間不導通。

4.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第一和第二測試點之間的距離為23毫米，所述第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測試點和第五測試點關于所述第一和第二測試點所在的直線對稱，所述第三測試點與第五測試點之間的距離為26毫米，所述第四測試點與所述第五測試點之間的距離為4.5毫米，所述第二測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測試點與所述器件對應連接的電極和所述第一測試點與所述器件對應連接的電極之間不導通。

5.根據(jù)權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測試點；所述第二、第三、第四和第五測試點位于一條直線上并依次相鄰，所述第二測試點與第三測試點之間的距離為4.5毫米，所述第三測試點與所述第四測試點之間的距離為17毫米，所述第四測試點與第五測試點之間的距離為4.5毫米，所述第一測試點與所述第三、第四和第五測試點所在直線的垂直距離為17毫米。

6.根據(jù)權利要求1至5任意一項所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：底部為所述測試板的測試盒體，所述測試盒體用于放置34毫米半橋連接功率器件；

所述固定夾具為所述測試盒體的盒體蓋。

7.根據(jù)權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：包含所述測試盒體的外部模塊。

8.根據(jù)權利要求1至5任意一項所述的裝置，其特征在于，所述34毫米半橋連接功率器件包括第一IGBT和第二IGBT；

所述結電容測試電路包括：第一、第二、第三和第四開關、旁路電阻、偏置電感以及旁路電容；

直流電源連接節(jié)點與旁路電容的第一端和高電平測試連接節(jié)點相連；低電平測試連接節(jié)點與旁路電阻的第一端相連；所述偏置電感的第一端與地電平相連；

所述第一開關置于第一位時，直流電源連接節(jié)點與第一IGBT的漏極相連，所述第一開關置于第二位時，直流電源連接節(jié)點與第二IGBT的漏極相連；

所述第二開關置于第一位時，所述低電平測試連接節(jié)點與第一IGBT的柵極相連，所述第二開關置于第二位時，所述低電平測試連接節(jié)點與第二IGBT的柵極相連；

所述第三開關置于第一位時，所述旁路電阻的第二端與第一IGBT的源極相連，所述第三開關置于第二位時，所述旁路電阻的第二端與第二IGBT的源極相連；

所述第四開關置于第一位時，所述旁路電阻的第二端與旁路電容的第二端以及偏置電感的第二端相連；

所述第四開關置于第二位時，所述旁路電阻的第二端與地電平相連；

所述第四開關置于第三位時，所述旁路電阻的第二端與所述低電平測試連接節(jié)點相連。

9.根據(jù)權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括設置開關組，所述設置開關組用于分別控制所述第一、第二、第三和第四開關。