[實(shí)用新型]一種結(jié)電容測(cè)試裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220591686.2
• 申請(qǐng)日: 2012-11-09
• 公開（公告）號(hào): CN203084083U
• 公開（公告）日: 2013-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 佘超群;朱陽(yáng)軍;陸江;成星;高振鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): G01R27/26
• 分類號(hào): G01R27/26
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種結(jié)電容測(cè)試裝置，其特征在于，所述裝置包括：測(cè)試板和固定夾具；

所述測(cè)試板的測(cè)試面有五個(gè)金屬突起，各個(gè)金屬突起對(duì)應(yīng)連接34毫米半橋連接功率器件的一個(gè)電極，并且各個(gè)金屬突起對(duì)應(yīng)連接的電極之間互不導(dǎo)通，所述五個(gè)金屬突起的底部與結(jié)電容測(cè)試電路相連；

所述固定夾具用于將所述34毫米半橋連接功率器件與所述測(cè)試板的測(cè)試面壓緊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個(gè)金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)；第一、第二和第三測(cè)試點(diǎn)位于一條直線上并依次相鄰，所述第一、第二和第三測(cè)試點(diǎn)中相鄰測(cè)試點(diǎn)之間的距離為23毫米，第四測(cè)試點(diǎn)和第五測(cè)試點(diǎn)關(guān)于所述直線對(duì)稱，所述第三測(cè)試點(diǎn)與所述第四和第五測(cè)試點(diǎn)所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)和第五測(cè)試點(diǎn)之間的距離為26毫米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個(gè)金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)；所述第一和第二測(cè)試點(diǎn)之間的距離為46毫米，所述第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測(cè)試點(diǎn)和第五測(cè)試點(diǎn)關(guān)于所述第一和第二測(cè)試點(diǎn)所在的直線對(duì)稱，所述第三測(cè)試點(diǎn)與第五測(cè)試點(diǎn)之間的距離為26毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)與所述第三測(cè)試點(diǎn)之間的距離為4.5毫米，所述第二測(cè)試點(diǎn)與所述第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)與所述器件對(duì)應(yīng)連接的電極和所述第一測(cè)試點(diǎn)與所述器件對(duì)應(yīng)連接的電極之間不導(dǎo)通。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個(gè)金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)；所述第一和第二測(cè)試點(diǎn)之間的距離為23毫米，所述第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)位于一條直線上并依次相鄰，所述第三測(cè)試點(diǎn)和第五測(cè)試點(diǎn)關(guān)于所述第一和第二測(cè)試點(diǎn)所在的直線對(duì)稱，所述第三測(cè)試點(diǎn)與第五測(cè)試點(diǎn)之間的距離為26毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)與所述第五測(cè)試點(diǎn)之間的距離為4.5毫米，所述第二測(cè)試點(diǎn)與所述第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)所在直線的垂直距離為17毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)與所述器件對(duì)應(yīng)連接的電極和所述第一測(cè)試點(diǎn)與所述器件對(duì)應(yīng)連接的電極之間不導(dǎo)通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述五個(gè)金屬突起分別為第一、第二、第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)；所述第二、第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)位于一條直線上并依次相鄰，所述第二測(cè)試點(diǎn)與第三測(cè)試點(diǎn)之間的距離為4.5毫米，所述第三測(cè)試點(diǎn)與所述第四測(cè)試點(diǎn)之間的距離為17毫米，所述第四測(cè)試點(diǎn)與第五測(cè)試點(diǎn)之間的距離為4.5毫米，所述第一測(cè)試點(diǎn)與所述第三、第四和第五測(cè)試點(diǎn)所在直線的垂直距離為17毫米。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：底部為所述測(cè)試板的測(cè)試盒體，所述測(cè)試盒體用于放置34毫米半橋連接功率器件；

所述固定夾具為所述測(cè)試盒體的盒體蓋。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：包含所述測(cè)試盒體的外部模塊。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述34毫米半橋連接功率器件包括第一IGBT和第二IGBT；

所述結(jié)電容測(cè)試電路包括：第一、第二、第三和第四開關(guān)、旁路電阻、偏置電感以及旁路電容；

直流電源連接節(jié)點(diǎn)與旁路電容的第一端和高電平測(cè)試連接節(jié)點(diǎn)相連；低電平測(cè)試連接節(jié)點(diǎn)與旁路電阻的第一端相連；所述偏置電感的第一端與地電平相連；

所述第一開關(guān)置于第一位時(shí)，直流電源連接節(jié)點(diǎn)與第一IGBT的漏極相連，所述第一開關(guān)置于第二位時(shí)，直流電源連接節(jié)點(diǎn)與第二IGBT的漏極相連；

所述第二開關(guān)置于第一位時(shí)，所述低電平測(cè)試連接節(jié)點(diǎn)與第一IGBT的柵極相連，所述第二開關(guān)置于第二位時(shí)，所述低電平測(cè)試連接節(jié)點(diǎn)與第二IGBT的柵極相連；

所述第三開關(guān)置于第一位時(shí)，所述旁路電阻的第二端與第一IGBT的源極相連，所述第三開關(guān)置于第二位時(shí)，所述旁路電阻的第二端與第二IGBT的源極相連；

所述第四開關(guān)置于第一位時(shí)，所述旁路電阻的第二端與旁路電容的第二端以及偏置電感的第二端相連；

所述第四開關(guān)置于第二位時(shí)，所述旁路電阻的第二端與地電平相連；

所述第四開關(guān)置于第三位時(shí)，所述旁路電阻的第二端與所述低電平測(cè)試連接節(jié)點(diǎn)相連。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括設(shè)置開關(guān)組，所述設(shè)置開關(guān)組用于分別控制所述第一、第二、第三和第四開關(guān)。