[實用新型]一種返工片清洗機

有效

• 申請號: 201220587829.2
• 申請日: 2012-11-08
• 公開（公告）號: CN203265133U
• 公開（公告）日: 2013-11-06
• 發明（設計）人: 孔建武;郭本遠;韓寶蓉;黃良吉
• 申請（專利權）人: 上海神舟新能源發展有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 上海科盛知識產權代理有限公司 31225
• 代理人: 林君如

技術領域

本實用新型涉及一種硅片清洗裝置，尤其是涉及一種返工片清洗機。?

背景技術

返工片清洗機是一種在硅晶體太陽電池生產中重要的工具，目前，深圳S.CExact?Equipmeng有限公司生產的手動返工片清洗機，存在著人生安全隱患以及工作效率低的缺陷。返工主要使用氫氟酸將硅片表面的一層氮化硅膜去除，在返工過程中需要人工將插有硅片的花籃放入氫氟酸槽中浸泡，也將人工取出放入清水漂洗。在放取的過程中不但存在HF滴在身體上的危險且HF易揮發，對呼吸道及眼球有危害；整個返工過程為人工操作使得工作極低，每25分鐘可返工硅片200片其中因人工操作，過程浪費5分鐘。?

實用新型內容

本實用新型的目的就是為了克服上述現有技術存在的缺陷而提供一種采用全自動系統，操作時只需在無酸環境中將插有硅片的花籃放入和取出機械手的返工片清洗機。?

本實用新型的目的可以通過以下技術方案來實現：?

一種返工片清洗機，包括：?

槽體：用于盛裝清洗硅片的氫氟酸；?

機械手：用于卡設插有待清洗硅片的花籃，可在水平方向及豎直方向上運動；?

清洗延時控制系統：與機械手及槽體傳感連接，控制機械手在水平方向及豎直方向上的運動軌跡及停留時間；?

操作臺：用于放置清洗完成的硅片；?

安全保護系統：監控機械手的位置及動作，實現對機械手啟動及停止的控制。?

所述的槽體根據清洗需要設有數個清洗槽。?

所述的清洗槽設有2-4個。?

所述的槽體上設有水平位置傳感器，機械手上設有豎直位置傳感器。?

所述的清洗延時控制系統通過槽體上設置的水平位置傳感器控制機械手在水平方向上的運動位置，通過機械手上設置的豎直位置傳感器控制機械手將花籃擺放在槽體內的位置并控制清洗時間。?

所述的機械手水平運動至第一個清洗槽上方被水平位置感應器感應到后停止，并開始執行垂直向下運動，被垂直方向位置感應器感應后停止運動，花籃擺放在槽體內，垂直方向感應器感應到后機械手停止動作同時將信號傳送給清洗延時控制系統，清洗開始倒計時，當時間到后，清洗延時控制系統發出信號給機械手，此時機械手執行向上的動作，然后做水平運動到達下一個清洗槽，重復上述步驟至清洗結束，機械手通過水平運動把花籃送到操作臺上放置，完成清洗過程。?

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：?

一、安全性高：用全自動系統，操作時只需在無酸環境中將插有硅片的花籃放入和取出機械手，消除了人生安全隱患。?

二、工作效率高：采用本實用新型200片硅片返工只需要20分鐘。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。?

圖中1為第一清洗槽、2為第二清洗槽、3為第三清洗槽、4為機械手、5為操作臺、6為清洗延時控制系統。?

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進行詳細說明。?

實施例?

一種返工片清洗機，其結構如圖1所示，主要包括槽體、機械手4、操作臺5、清洗延時控制系統6以及安全保護系統。其中，槽體設有數個，數量根據清洗需要可以設置2-4個，本實施例中，設有3個，分別為第一清洗槽1、第二清洗槽2以及第三清洗槽3，上述槽體用于盛裝清洗硅片的氫氟酸。機械手4用于卡設插有待清洗硅片的花籃，可在水平方向及豎直方向上運動。清洗延時控制系統6與機械手4及槽體傳感連接，控制機械手4在水平方向及豎直方向上的運動軌跡及停留時間。?操作臺5用于放置清洗完成的硅片。安全保護系統用于監控機械手4的位置及動作，實現對機械手啟動及停止的控制。?

在第一清洗槽1、第二清洗槽2以及第三清洗槽3上均設有水平位置傳感器，機械手4上設有豎直位置傳感器。清洗延時控制系統6通過槽體上設置的水平位置傳感器控制機械手4在水平方向上的運動位置，通過機械手4上設置的豎直位置傳感器控制機械手4將花籃擺放在槽體內的位置并控制清洗時間。?

整個清洗機的自動控制是由清洗延時控制系統6、機械手4和安全保護系統連接并通過傳感技術而實現。當花籃放在機械手4上，按下啟動按鈕，機械手4水平運動至第一清洗槽1上方被水平位置感應器感應到后停止，并開始執行垂直向下運動，被垂直方向位置感應器感應后停止運動，花籃擺放在第一清洗槽1內，垂直方向感應器感應到后機械手4停止動作同時將信號傳送給清洗延時控制系統6，清洗開始倒計時，當時間到后，清洗延時控制系統6發出信號給機械手4，此時機械手4執行向上的動作，然后做水平運動到達第二清洗槽2，重復上述步驟至清洗結束，機械手4通過水平運動把花籃送到操作臺5上放置，完成清洗過程。?