[實用新型]一種返工片清洗機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220587829.2 | 申請日： | 2012-11-08 |
| 公開（公告）號： | CN203265133U | 公開（公告）日： | 2013-11-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孔建武;郭本遠(yuǎn);韓寶蓉;黃良吉 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海神舟新能源發(fā)展有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 201112 上海市閔行*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 返工 清洗 | ||
1.一種返工片清洗機，其特征在于，該清洗機包括：?
槽體：用于盛裝清洗硅片的氫氟酸；?
機械手：用于卡設(shè)插有待清洗硅片的花籃，可在水平方向及豎直方向上運動；?
清洗延時控制系統(tǒng)：與機械手及槽體傳感連接，控制機械手在水平方向及豎直方向上的運動軌跡及停留時間；?
操作臺：用于放置清洗完成的硅片；?
安全保護系統(tǒng)：監(jiān)控機械手的位置及動作，實現(xiàn)對機械手啟動及停止的控制。?
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種返工片清洗機，其特征在于，所述的槽體根據(jù)清洗需要設(shè)有數(shù)個清洗槽。?
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種返工片清洗機，其特征在于，所述的清洗槽設(shè)有2-4個。?
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種返工片清洗機，其特征在于，所述的槽體上設(shè)有水平位置傳感器，機械手上設(shè)有豎直位置傳感器。?
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種返工片清洗機，其特征在于，所述的清洗延時控制系統(tǒng)通過槽體上設(shè)置的水平位置傳感器控制機械手在水平方向上的運動位置，通過機械手上設(shè)置的豎直位置傳感器控制機械手將花籃擺放在槽體內(nèi)的位置并控制清洗時間。?
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