[實用新型]光刻膠涂覆設備

有效

• 申請號: 201220575490.4
• 申請日: 2012-11-02
• 公開（公告）號: CN202854484U
• 公開（公告）日: 2013-04-03
• 發明（設計）人: 趙娜;王守波;王文龍;操彬彬
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;合肥京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種光刻膠涂覆設備，包括固定在噴嘴平動裝置下方的涂覆噴嘴，其特征在于，還包括除異物裝置，位于待涂覆基板上方，用于在使用所述涂覆噴嘴向所述待涂覆基板上表面涂膠的同時，向所述待涂覆基板上表面的未涂膠部分噴射氣體，以使異物沿所述噴嘴平動裝置的運動方向脫離所述待涂覆基板。

2.根據權利要求1所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述除異物裝置沿所述噴嘴平動裝置的運動方向與所述噴嘴平動裝置同步運動。

3.根據權利要求2所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述除異物裝置設置在所述噴嘴平動裝置上。

4.根據權利要求3所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，還包括高度調節機構；

所述高度調節機構一端與所述噴嘴平動裝置連接，另一端與所述除異物裝置連接，用于調整所述除異物裝置與所述待涂覆基板之間的距離。

5.根據權利要求4所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述高度調節機構由第一連桿和第一螺桿組成，所述噴嘴平動裝置具有與第一連桿相匹配的孔，所述第一連桿一端與所述除異物裝置固定連接，另一端穿入所述孔；

所述第一螺桿一端部分穿入所述噴嘴平動裝置與其螺紋連接，并且緊頂在所述第一連桿上。

6.根據權利要求1所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述除異物裝置包括：進氣管、氣室；

所述進氣管的一端與用于供給所述氣體的氣源連通，另一端與所述氣室連通；

所述氣室朝向所述待涂覆基板的表面具有狹縫，所述氣體經由所述進氣管和所述氣室從所述狹縫中噴出；

所述狹縫的長度不小于所述涂覆噴嘴的涂膠寬度。

7.根據權利要求6所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述氣室的進氣口截面積大于該氣室的出氣口截面積。

8.根據權利要求6所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述進氣管上設有氣體流量控制閥或者壓力調節器。

9.根據權利要求3所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，還包括角度調節機構；

所述角度調節機構一端與所述噴嘴平動裝置連接，另一端與所述除異物裝置連接，用于調整氣體噴射方向與所述待涂覆基板之間的角度。

10.根據權利要求9所述的光刻膠涂覆設備，其特征在于，所述角度調節機構由第二連桿、套筒、轉軸，第三連桿和第二螺桿構成；

所述第二連桿的一端固定在所述噴嘴平動裝置上，另一端與所述套筒的外表面固定連接；

所述轉軸一端與所述第三連桿一端固定連接，另一端穿入所述套筒內部與所述套筒活動連接；

所述第二螺桿一端部分穿入所述套筒與其螺紋連接，并且緊頂在所述轉軸上；

所述第三連桿另一端與所述除異物裝置固定連接。