[實用新型]一種噴涂制絨系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220566637.3
• 申請日: 2012-10-31
• 公開（公告）號: CN202940263U
• 公開（公告）日: 2013-05-15
• 發(fā)明（設計）人: 胡海平;班群;方結彬;何達能;陳剛
• 申請（專利權）人: 廣東愛康太陽能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C30B33/10
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文

1.一種噴涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，包括：

拋光槽、制絨槽、第一漂洗槽、堿洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽、吹干槽及用于傳輸硅片的滾輪；

所述拋光槽、制絨槽、第一漂洗槽、堿洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽及吹干槽依次相連；

所述制絨槽內(nèi)設有噴涂機。

2.如權利要求1所述的噴涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述噴涂機包括至少一個噴頭。

3.如權利要求2所述的噴涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述噴涂機還包括用于控制所述噴頭的控制器。

4.如權利要求2所述的噴涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述噴頭上設有噴嘴，所述噴嘴的橫截面為兩同心正六邊形所形成的環(huán)形結構。

5.如權利要求4所述的涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述噴嘴的壁厚為5um~10um；

所述環(huán)形結構的內(nèi)正六邊形邊長為10um~20um；

所述環(huán)形結構的外正六邊形邊長為15um~30um。

6.如權利要求1所述的噴涂制絨系統(tǒng)，其特征在于，所述吹干槽內(nèi)設有氮氣吹風機或壓縮空氣吹風機。