[實用新型]一種噴涂制絨系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201220566637.3 | 申請日: | 2012-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN202940263U | 公開(公告)日: | 2013-05-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 胡海平;班群;方結(jié)彬;何達能;陳剛 | 申請(專利權(quán))人: | 廣東愛康太陽能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 顏希文 |
| 地址: | 528100 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 噴涂 系統(tǒng) | ||
1.一種噴涂制絨系統(tǒng),其特征在于,包括:
拋光槽、制絨槽、第一漂洗槽、堿洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽、吹干槽及用于傳輸硅片的滾輪;
所述拋光槽、制絨槽、第一漂洗槽、堿洗槽、第二漂洗槽、酸洗槽、第三漂洗槽及吹干槽依次相連;
所述制絨槽內(nèi)設(shè)有噴涂機。
2.如權(quán)利要求1所述的噴涂制絨系統(tǒng),其特征在于,所述噴涂機包括至少一個噴頭。
3.如權(quán)利要求2所述的噴涂制絨系統(tǒng),其特征在于,所述噴涂機還包括用于控制所述噴頭的控制器。
4.如權(quán)利要求2所述的噴涂制絨系統(tǒng),其特征在于,所述噴頭上設(shè)有噴嘴,所述噴嘴的橫截面為兩同心正六邊形所形成的環(huán)形結(jié)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的涂制絨系統(tǒng),其特征在于,所述噴嘴的壁厚為5um~10um;
所述環(huán)形結(jié)構(gòu)的內(nèi)正六邊形邊長為10um~20um;
所述環(huán)形結(jié)構(gòu)的外正六邊形邊長為15um~30um。
6.如權(quán)利要求1所述的噴涂制絨系統(tǒng),其特征在于,所述吹干槽內(nèi)設(shè)有氮氣吹風機或壓縮空氣吹風機。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





