[實用新型]一種用于半導體電鍍設備的排液泵結構

有效

• 申請號: 201220564820.X
• 申請日: 2012-10-30
• 公開（公告）號: CN202900680U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發明（設計）人: 李廣寧
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: F04D13/02
• 分類號: F04D13/02;F04D29/00;F04D29/04;F04D29/02;C25D21/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 余明偉

技術領域

本實用新型涉及一種半導體化學電鍍設備，特別是涉及一種用于半導體電鍍設備的排液泵結構。

背景技術

化學電鍍是半導體制程中一個非常重要的制程，幾乎每一個半導體器件都需要進行若干次的化學電鍍，因此，保證化學電鍍制程的穩定性對半導體生產至關重要。

在化學電鍍的過程中，為了保持電鍍的穩定性，其反應液在離子濃度低于預設值時便需要進行換液，此時需要及時將這些原有的廢液抽出以進行反應液的替換。一般的化學電鍍設備可以通過排液泵將這些廢液抽出。現有的一種排液泵，其包括動力軸，該動力軸的一端具有卡槽；泵體，該泵體的一側壁上具有多個排液孔及一與所述動力軸對應的連接孔；齒輪軸，該齒輪軸的材料為塑料，其軸端具有與該齒輪軸一體成型的塑料卡件，該塑料卡件卡接于所述動力軸的卡槽內以實現與所述動力軸的連接，其齒輪端穿過所述泵體側壁延伸至泵體外部，且該齒輪端的齒輪上裝設有旋轉扇葉。

如圖1~圖2所示，這種排液泵具有以下缺點：1）這種排液泵由于其齒輪軸21通過塑料卡件22卡接于所述動力軸上，在排液泵運行多次后常常會出現損壞現象，從而導致旋轉扇葉的轉速變慢、化學液泄漏等不良影響，降低排液泵的壽命，如圖1所示；2）由于齒輪軸的齒輪211和旋轉扇葉（未予圖示）經常會接觸到如CuSO₄等廢液，CuSO₄容易在齒輪211和旋轉扇葉上結成晶體，嚴重降低排液泵的抽液效率，如圖2所示。

鑒于以上缺點，提供一種有效提供排液泵的穩定性、延長排液泵壽命及保證抽液效率的排液泵改進結構實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種用于半導體電鍍設備的排液泵結構，用于解決現有技術中排液泵連接容易失效、壽命短及由于扇葉結晶而導致抽液效率減低等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種用于半導體電鍍設備的排液泵結構，所述排液泵結構至少包括：

動力軸，所述動力軸的一端具有一卡槽；

泵體，所述泵體的一側壁具有多個排液孔及一與所述動力軸對應的連接孔；

齒輪軸，所述齒輪軸為金屬空心軸，其軸端絲扣連接有一金屬螺帽，該金屬螺帽卡接于所述卡槽內以實現與所述動力軸的連接，其齒輪端通過所述連接孔延伸至泵體的外部，該齒輪端還設置有一連接至所述齒輪軸內部的噴淋件，所述噴淋件具有多個噴淋孔，且各該噴淋孔朝向所述齒輪端上的齒輪；

輸液管，包括設置于所述齒輪軸內部的主液管及與該主液管相連且與各該噴淋孔對應的多個分液管；

扇葉，裝置于所述齒輪軸的齒輪上。

作為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的一種優選方案，所述齒輪軸的材料為銅或不銹鋼。

作為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的一種優選方案，所述金屬螺帽的材料為銅或不銹鋼。

作為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的一種優選方案，所述卡槽為六角柱狀的凹槽，所述金屬螺帽為六角柱狀的柱體。

作為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的一種優選方案，所述噴淋件具有4~12個噴淋孔。

作為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的一種優選方案，所述輸液管的為聚四氟乙烯PTFE管。

如上所述，本實用新型提供一種用于半導體電鍍設備的排液泵結構，包括動力軸，所述動力軸的一端具有一卡槽；泵體，所述泵體的一側壁具有多個排液孔及一與所述動力軸對應的連接孔；齒輪軸，所述齒輪軸為金屬空心軸，其軸端絲扣連接有一金屬螺帽，該金屬螺帽卡接于所述卡槽內以實現與所述動力軸的連接，其齒輪端通過所述連接孔延伸至泵體的外部，該齒輪端還設置有一連接至所述齒輪軸內部的噴淋件，所述噴淋件具有多個噴淋孔，且各該噴淋孔朝向所述齒輪端上的齒輪；輸液管，包括設置于所述齒輪軸內部的主液管及與該主液管相連且與各該噴淋孔對應的多個分液管；以及扇葉，裝置于所述齒輪軸的齒輪上。本實用新型具有以下有益效果：采用金屬齒輪軸和金屬螺帽設計，可以避免齒輪軸和動力軸連接的失效，有利于提高排液泵的穩定性和壽命；在齒輪和扇葉出增加了噴淋件，有效地避免反應液在齒輪和扇葉上結晶，保證排液泵的工作效率。

附圖說明

圖1~圖2顯示為現有技術中的排液泵結構示意圖。

圖3顯示為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構的截面結構示意圖。

圖4顯示為本實用新型的用于半導體電鍍設備的排液泵結構中的金屬螺帽的平面結構示意圖。