[實(shí)用新型]一種用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220564820.X
• 申請(qǐng)日: 2012-10-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN202900680U
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李廣寧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F04D13/02
• 分類(lèi)號(hào): F04D13/02;F04D29/00;F04D29/04;F04D29/02;C25D21/00
• 代理公司: 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述排液泵結(jié)構(gòu)至少包括：

動(dòng)力軸，所述動(dòng)力軸的一端具有一卡槽；

泵體，所述泵體的一側(cè)壁具有多個(gè)排液孔及一與所述動(dòng)力軸對(duì)應(yīng)的連接孔；

齒輪軸，所述齒輪軸為金屬空心軸，其軸端絲扣連接有一金屬螺帽，該金屬螺帽卡接于所述卡槽內(nèi)以實(shí)現(xiàn)與所述動(dòng)力軸的連接，其齒輪端通過(guò)所述連接孔延伸至泵體的外部，該齒輪端還設(shè)置有一連接至所述齒輪軸內(nèi)部的噴淋件，所述噴淋件具有多個(gè)噴淋孔，且各該噴淋孔朝向所述齒輪端上的齒輪；

輸液管，包括設(shè)置于所述齒輪軸內(nèi)部的主液管及與該主液管相連且與各該噴淋孔對(duì)應(yīng)的多個(gè)分液管；以及

扇葉，裝置于所述齒輪軸的齒輪上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述齒輪軸的材料為銅或不銹鋼。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述金屬螺帽的材料為銅或不銹鋼。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述卡槽為六角柱狀的凹槽，所述金屬螺帽為六角柱狀的柱體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述噴淋件具有4~12個(gè)噴淋孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備的排液泵結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述輸液管為聚四氟乙烯PTFE管。