[實用新型]漏光檢測基板及漏光檢測裝置有效
| 申請號: | 201220557945.X | 申請日: | 2012-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN202837747U | 公開(公告)日: | 2013-03-27 |
| 發明(設計)人: | 石岳 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G02F1/13 | 分類號: | G02F1/13;G02F1/1339;G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人: | 韓國勝 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 漏光 檢測 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及顯示技術領域,特別涉及一種漏光檢測基板及漏光檢測裝置。
背景技術
目前,TFT-LCD(英文全稱Thin?Film?Transistor,中文全稱:薄膜晶體管液晶顯示)面板的陣列基板通過各層金屬、非金屬薄膜形成一定的圖形沉積在玻璃上形成晶體管驅動液晶旋轉,隨著社會進步及科技發展,TFT-LCD已經成為當今時代顯示領域的主流產品,在工業生產、日常生活中起到了至關重要的作用,越來越受到人們的青睞。但是目前TFT-LCD的圖像顯示品質一直以來都是制約TFT-LCD發展的重要因素,影響顯示品質的原因很多,例如原材料的污染、液晶污染、PI污染、生產線潔凈程度的好壞等,這些都影響著TFT-LCD的顯示品質;除此以外,液晶顯示器還受到外界環境的影響,例如曝光在強紫外光的條件下,顯示品質也會大大受到影響,這主要是因為,強紫外光能夠影響液晶顯示器中的a-si?TFT(非晶硅薄膜晶體管),使a-si(非晶硅)在強紫光外的作用下產生不可逆的破壞,此外,強紫外光也會破壞TFT-LCD顯示區域的液晶材料,使液晶分子和混合液晶當中的其他混合物產生未知的副反應,從而導致嚴重的殘像。在目前液晶顯示器制造過程中TFT-LCD面板的封框膠固化過程需要使用封框膠UV(紫外光)固化設備,該設備主要包括紫外光照射裝置、傳送裝置、通風裝置、檢測結果單元及系統控制單元;在生產過程中,為了避免強紫外光照射到面板的顯示區域,先將TFT-LCD面板放置在漏光檢測基板及漏光檢測裝置的基臺上,再在TFT-LCD面板上面放置一個UVmask層(紫外光掩膜設備),UVmask層的作用是將TFT-LCD面板的顯示區域遮擋住,使除封框膠之外的其他區域都被遮擋;同時僅將封框膠部分全部暴露在強紫外光之下。因此,封框膠固化工藝對UVmask層設計的精準度要求相當高,若將顯示區域暴露在UVmask層外,封框膠雖能固化完全,但會產生種種顯示問題,若封框膠沒有完全暴漏在外,則會導致封框膠固化不完全,有可能導致封框膠斷裂等不良問題;這些問題不能被及時發現,后果是導致大批量TFT-LCD面板出現質量問題,造成巨大經濟損失。目前,現有的UV固化裝置在進行UV固化工藝時,并不能直接顯示固化過程實時監測是否有紫外光照射到面板的顯示區域,更不可能檢測出哪些顯示區域被照射;因此,生產人員只能等待最終產品生產出來,并對其進行品質檢測,當發現品質問題后再回頭檢討UV?mask的設計問題;這樣的漏光檢測裝置使用起來不僅使UV固化過程費時費力、且增加了TFT-LCD的生產成本,不利于TFT-LCD的發展;不僅是紫外線固化設備,在需要其他需要精準曝光的設備使用中,都會遇上上述類似問題,因此,需要提供一種漏光檢測基板、漏光檢測裝置以及具有漏光檢測功能的曝光設備如紫外線固化裝置,以解決提高精準度、減少損耗。
發明內容
本實用新型所解決的技術問題是無法在曝光之前對設備的漏光進行準確地檢測,導致曝光不精準以及曝光設備如掩膜版成本消耗高的問題。
本實用新型的目的是通過以下技術方案實現的:一種漏光檢測基板,所述漏光檢測基板包括:襯底基板和形成于所述襯底基板上的光致變色材料層。
還包括第二基板,覆蓋在所述光致變色材料層上。
所述襯底基板和所述第二基板通過基板邊緣區域的封框膠粘結固定,所述封框膠的厚度不小于所述光致變色材料層的厚度。
上述歐光檢測基板是用于對紫外光掩膜設備進行漏光檢測,所述光致變色材料層的材料至少包括:光致變色螺吡喃聚合物、螺-惡嗪聚合物、二芳基乙烯光致變色聚合物、偶氮苯類光致變色聚合物、苯氧基萘并萘醌光致變色聚合物、俘精酰亞胺光致變色共聚物、硫靛光致變色共聚物、雙硫腙光致變色聚合物、二氫吲嗪光致變色聚合物、WO3、MoO3或TiO2中的一種。
一種漏光檢測裝置,包括如上述中任一項所述的漏光檢測基板;所述漏光檢測裝置包括圖案采集單元,所述圖案采集單元用于獲取所述漏光檢測基板上的圖案信息。
還包括檢測結果單元,所述檢測結果單元與所述圖案采集單元連接以顯示所述圖案采集單元所采集到的圖案信息。
所述圖案采集單元為照相機。
還包括紫外光照射裝置,用于發出用于固化封框膠的紫外光,將所述紫外光照射到待檢測的紫外光掩膜設備上,其中透過所述紫外光掩膜設備的紫外光照射到所述漏光檢測基板上。
還包括紫外光擋板,所述紫外光擋板設置在所述紫外光照射裝置、所述漏光檢測基板以及所述圖案采集單元的外圍。
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