[實用新型]漏光檢測基板及漏光檢測裝置

有效

• 申請號: 201220557945.X
• 申請日: 2012-10-26
• 公開（公告）號: CN202837747U
• 公開（公告）日: 2013-03-27
• 發明（設計）人: 石岳
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G02F1/1339;G03F7/20
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 韓國勝

1.一種漏光檢測基板，包括：襯底基板和形成于所述襯底基板上的光致變色材料層。

2.根據權利要求1所述的漏光檢測基板，其特征在于，還包括第二基板，覆蓋在所述光致變色材料層上。

3.根據權利要求2所述的漏光檢測基板，其特征在于，所述襯底基板和所述第二基板通過基板邊緣區域的封框膠粘結固定，所述封框膠的厚度不小于所述光致變色材料層的厚度。

4.根據權利要求1所述的漏光檢測基板，其特征在于，所述漏光檢測基板是用于對紫外光掩膜設備進行漏光檢測；所述光致變色材料層的材料至少包括：光致變色螺吡喃聚合物、螺-惡嗪聚合物、二芳基乙烯光致變色聚合物、偶氮苯類光致變色聚合物、苯氧基萘并萘醌光致變色聚合物、俘精酰亞胺光致變色共聚物、硫靛光致變色共聚物、雙硫腙光致變色聚合物、二氫吲嗪光致變色聚合物、WO₃、MoO₃或TiO2中的一種。

5.一種漏光檢測裝置，包括如權利要求1~4任一項所述的漏光檢測基板；其特征在于，所述漏光檢測裝置包括圖案采集單元，所述圖案采集單元用于獲取所述漏光檢測基板上的圖案信息。

6.根據權利要求5所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括檢測結果單元，所述檢測結果單元與所述圖案采集單元連接以顯示所述圖案采集單元所采集到的圖案信息。

7.根據權利要求5所述的漏光檢測裝置，其特征在于，所述圖案采集單元為照相機。

8.根據權利要求5所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括紫外光照射裝置，用于發出用于固化封框膠的紫外光，將所述紫外光照射到待檢測的紫外光掩膜設備上，其中透過所述紫外光掩膜設備的紫外光照射到所述漏光檢測基板上。

9.根據權利要求8所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括紫外光擋板，所述紫外光擋板設置在所述紫外光照射裝置、所述漏光檢測基板以及所述圖案采集單元的外圍。

10.根據權利要求9所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括通風裝置，位于所述紫外光擋板的壁上，用于對所述紫外光擋板所圍的空間進行通風。

11.根據權利要求5所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括傳送裝置，所述傳送裝置用于將待檢測的紫外光掩膜設備傳送到所述漏光檢測基板的光入射一側。

12.根據權利要求8所述的漏光檢測裝置，其特征在于，還包括系統控制單元，與所述紫外光照射裝置和所述圖案采集單元連接，所述系統控制單元用于控制所述紫外光照射裝置發出所述紫外光，以及控制所述圖案采集單元獲取所述漏光檢測基板上的圖案信息。