[實(shí)用新型]掃描陰極及掃描濺射設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201220547040.4
• 申請(qǐng)日: 2012-10-23
• 公開（公告）號(hào): CN202865324U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范振華;劉國(guó)利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種用于太陽能電池板及OLED中的基板鍍膜用的磁控濺射陰極及磁控濺射設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展、科學(xué)技術(shù)的不斷提高及自然資源的日益緊缺，促使企業(yè)加大投資研發(fā)力度以便能開發(fā)出新的節(jié)能產(chǎn)品，而薄膜太陽能電池就是諸多節(jié)能產(chǎn)品中的一種。其中，在薄膜太陽能電池生產(chǎn)過程中，會(huì)涉及到成千上萬道工序，而薄膜太陽能電池板的鍍膜就是諸多工序中的一種。

目前，對(duì)薄膜太陽能電池板進(jìn)行鍍膜的常用方法為磁控濺射鍍膜，它是利用電子在電場(chǎng)的作用下，使電子在飛向待鍍膜的薄膜太陽能電池板過程中與真空腔體內(nèi)的氬原子發(fā)生碰撞，使氬原子電離產(chǎn)生出氬正離子和新的電子；新電子在電場(chǎng)的作用下飛向待鍍膜的薄膜太陽能電池板，氬離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶材處，并以高能量轟擊靶材的表面，使靶材發(fā)生濺射，產(chǎn)生濺射粒子；而在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在待鍍膜的薄膜太陽能電池板上形成薄膜出來，從而完成薄膜太陽能電池板的鍍膜過程，因此，磁控濺射鍍膜是薄膜太陽能電池板的重要組成部分。

但是，現(xiàn)有的應(yīng)用于磁控濺射鍍膜的磁控濺射設(shè)備對(duì)靶材刻蝕的區(qū)域面積小，從而使得靶材的利用率低，相應(yīng)地增加了靶材的使用數(shù)量及靶材的更換次數(shù)，從而增加了磁控濺射鍍膜的成本。

同樣，在其它行業(yè)中，比如OLED（英文全稱為：Organic?Light-Emitting?Diode，中文名稱為：有機(jī)發(fā)光二極管文）及液晶電視的制造中所涉及到的都是類似的。

因此，急需要一種提高靶材刻蝕區(qū)域面積以提高靶材的利用率而降低鍍膜成本的掃描陰極及掃描濺射設(shè)備來克服上述的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型之一目的在于提供一種能提高靶材刻蝕區(qū)域的面積以提高靶材的利用率而降低鍍膜成本的掃描陰極。

本實(shí)用新型之另一目的在于提供一種能提高靶材刻蝕區(qū)域的面積以提高靶材的利用率而降低鍍膜成本的掃描濺射設(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種掃描陰極，設(shè)于真空腔體上并對(duì)真空腔體內(nèi)的靶材進(jìn)行磁控掃描，其中，本實(shí)用新型的掃描陰極包括位于真空腔體外的磁性部件及驅(qū)動(dòng)器，磁性部件與靶材相對(duì)應(yīng)，驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使磁性部件在真空腔體外做平面的活動(dòng)而對(duì)靶材進(jìn)行平面的磁性掃描。

較佳地，本實(shí)用新型的掃描陰極還包括連接于磁性部件及驅(qū)動(dòng)器之間的中間傳動(dòng)組件，中間傳動(dòng)組件包括與驅(qū)動(dòng)器的輸出端相平行并樞接于真空腔體外的絲桿、套于絲桿上并與絲桿嚙合傳動(dòng)的絲母及連接于絲桿和驅(qū)動(dòng)器之輸出端的中間傳送部件，絲母固定于磁性部件上。

較佳地，中間傳送部件為安裝在驅(qū)動(dòng)器的輸出端上的主動(dòng)輪、安裝在絲桿上的從動(dòng)輪及套于主動(dòng)輪及從動(dòng)輪上的傳送件；或者中間傳送部件為安裝在驅(qū)動(dòng)器的輸出端上的主動(dòng)齒輪及安裝在絲桿上并與主動(dòng)齒輪嚙合傳動(dòng)的從動(dòng)齒輪。

較佳地，本實(shí)用新型的掃描陰極還包括相互配合的導(dǎo)向桿及導(dǎo)向套，導(dǎo)向桿安裝在真空腔體外并與絲桿相平行，導(dǎo)向套安裝在磁性部件上并套于導(dǎo)向桿上。

較佳地，真空腔體具有與外界冷卻系統(tǒng)相連通的循環(huán)通道，循環(huán)通道位于磁性部件與靶材之間，且循環(huán)通道與靶材相對(duì)應(yīng)。

較佳地，真空腔體內(nèi)設(shè)置有一密封金屬板，且真空腔體開設(shè)有貫穿該真空腔體面對(duì)靶材的一側(cè)的循環(huán)通槽，密封金屬板密封循環(huán)通槽面對(duì)靶材的一側(cè)并形成出循環(huán)通道，靶材緊貼密封金屬板。

較佳地，靶材面對(duì)磁性部件的磁力集中區(qū)處對(duì)應(yīng)地設(shè)置有一凸臺(tái)。

本實(shí)用新型的掃描濺射設(shè)備適用對(duì)基板進(jìn)行真空濺射鍍膜，包括真空腔體、控制器及掃描陰極。控制器設(shè)置于真空腔體外，真空腔體內(nèi)設(shè)置有靶材；掃描陰極包含位于真空腔體外的磁性部件及驅(qū)動(dòng)器，磁性部件與靶材相對(duì)應(yīng)，驅(qū)動(dòng)器與控制器電性連接，驅(qū)動(dòng)器驅(qū)使磁性部件在真空腔體外做平面的活動(dòng)而對(duì)靶材進(jìn)行平面的磁性掃描。

較佳地，掃描陰極還包括連接于磁性部件及驅(qū)動(dòng)器之間的中間傳動(dòng)組件，中間傳動(dòng)組件包括與驅(qū)動(dòng)器的輸出端相平行并樞接于真空腔體外的絲桿、套于絲桿上并與絲桿嚙合的絲母及連接于絲桿和驅(qū)動(dòng)器之輸出端的中間傳送部件，絲母固定于磁性部件上。

較佳地，中間傳送部件為安裝在驅(qū)動(dòng)器的輸出端上的主動(dòng)輪、安裝在絲桿上的從動(dòng)輪及套于主動(dòng)輪及從動(dòng)輪上的傳送件；或者中間傳送部件為安裝在驅(qū)動(dòng)器的輸出端上的主動(dòng)齒輪及安裝在絲桿上并與主動(dòng)齒輪嚙合傳動(dòng)的從動(dòng)齒輪。

較佳地，掃描陰極還包括相互配合的導(dǎo)向桿及導(dǎo)向套，導(dǎo)向桿安裝在真空腔體外并與絲桿相平行，導(dǎo)向套安裝在磁性部件上并套于導(dǎo)向桿上。