[實用新型]掃描陰極及掃描濺射設備

有效

• 申請號: 201220547040.4
• 申請日: 2012-10-23
• 公開（公告）號: CN202865324U
• 公開（公告）日: 2013-04-10
• 發明（設計）人: 范振華;劉國利
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種掃描陰極，設于真空腔體上并對真空腔體內的靶材進行磁控掃描，其特征在于，所述掃描陰極包括位于所述真空腔體外的磁性部件及驅動器，所述磁性部件與所述靶材相對應，所述驅動器驅使所述磁性部件在所述真空腔體外做平面的活動而對所述靶材進行平面的磁性掃描。

2.如權利要求1所述的掃描陰極，其特征在于，還包括連接于所述磁性部件及驅動器之間的中間傳動組件，所述中間傳動組件包括與所述驅動器的輸出端相平行并樞接于所述真空腔體外的絲桿、套于所述絲桿上并與所述絲桿嚙合傳動的絲母及連接于所述絲桿和所述驅動器之輸出端的中間傳送部件，所述絲母固定于所述磁性部件上。

3.如權利要求2所述的掃描陰極，其特征在于，所述中間傳送部件為安裝在所述驅動器的輸出端上的主動輪、安裝在所述絲桿上的從動輪及套于所述主動輪及從動輪上的傳送件；或者所述中間傳送部件為安裝在所述驅動器的輸出端上的主動齒輪及安裝在所述絲桿上并與所述主動齒輪嚙合傳動的從動齒輪。

4.如權利要求2所述的掃描陰極，其特征在于，還包括相互配合的導向桿及導向套，所述導向桿安裝在所述真空腔體外并與所述絲桿相平行，所述導向套安裝在所述磁性部件上并套于所述導向桿上。

5.如權利要求1所述的掃描陰極，其特征在于，所述真空腔體具有與外界冷卻系統相連通的循環通道，所述循環通道位于所述磁性部件與所述靶材之間，且所述循環通道與所述靶材相對應。

6.如權利要求5所述的掃描陰極，其特征在于，所述真空腔體內設置有一密封金屬板，且所述真空腔體開設有貫穿該真空腔體面對所述靶材的一側的循環通槽，所述密封金屬板密封所述循環通槽面對所述靶材的一側并形成出所述循環通道，所述靶材緊貼所述密封金屬板。

7.如權利要求1所述的掃描陰極，其特征在于，所述靶材面對所述磁性部件的磁力集中區處對應地設置有一凸臺。

8.一種掃描濺射設備，適用對基板進行真空濺射鍍膜，其特征在于，所述掃描濺射設備包括真空腔體、控制器及掃描陰極，所述控制器設置于所述真空腔體外，所述真空腔體內設置有靶材，所述掃描陰極包含位于所述真空腔體外的磁性部件及驅動器，所述磁性部件與所述靶材相對應，所述驅動器與所述控制器電性連接，所述驅動器驅使所述磁性部件在所述真空腔體外做平面的活動而對所述靶材進行平面的磁性掃描。

9.如權利要求8所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述掃描陰極還包括連接于所述磁性部件及驅動器之間的中間傳動組件，所述中間傳動組件包括與所述驅動器的輸出端相平行并樞接于所述真空腔體外的絲桿、套于所述絲桿上并與所述絲桿嚙合傳動的絲母及連接于所述絲桿和所述驅動器之輸出端的中間傳送部件，所述絲母固定于所述磁性部件上。

10.如權利要求9所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述中間傳送部件為安裝在所述驅動器的輸出端上的主動輪、安裝在所述絲桿上的從動輪及套于所述主動輪及從動輪上的傳送件；或者所述中間傳送部件為安裝在所述驅動器的輸出端上的主動齒輪及安裝在所述絲桿上并與所述主動齒輪嚙合傳動的從動齒輪。

11.如權利要求9所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述掃描陰極還包括相互配合的導向桿及導向套，所述導向桿安裝在所述真空腔體外并與所述絲桿相平行，所述導向套安裝在所述磁性部件上并套于所述導向桿上。

12.如權利要求8所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述真空腔體具有與外界冷卻系統相連通的循環通道，所述循環通道位于所述磁性部件與所述靶材之間，且所述循環通道與所述靶材相對應。

13.如權利要求12所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述真空腔體內設置有一密封金屬板，且所述真空腔體開設有貫穿該真空腔體面對所述靶材的一側的循環通槽，所述密封金屬板密封所述循環通槽面對所述靶材的一側并形成出所述循環通道，所述靶材緊貼所述密封金屬板。

14.如權利要求8所述的掃描濺射設備，其特征在于，所述靶材面對所述磁性部件的磁力集中區處對應地設置有一凸臺。