[實用新型]用于真空器件的真空保持系統有效
| 申請號： | 201220543826.9 | 申請日： | 2012-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN202905649U | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 張揚;李玉江;張文憑;王懷德;陳智勇;唐松;高松海 | 申請（專利權）人： | 北京市北分儀器技術有限責任公司 |
| 主分類號： | H01J7/14 | 分類號： | H01J7/14;H01J7/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100095 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 真空 器件 保持 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述真空保持系統包括：吸氣劑元件、固定部和真空閥，所述吸氣劑元件安裝在所述固定部上，所述真空閥連接于所述固定部與所述真空器件之間。
2.如權利要求1所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述吸氣劑元件包括吸氣材料部和加熱絲部，所述加熱絲部位于吸氣材料部的兩端。
3.如權利要求1所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述固定部為法蘭盤。
4.如權利要求3所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述法蘭盤上焊有多個真空引線端子，相鄰的兩個真空引線端子之間焊有吸氣劑元件，且吸氣劑元件之間形成串聯結構。
5.如權利要求2所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述吸氣材料部由鈦基非蒸散型室溫吸氣劑制成。
6.如權利要求1所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述真空閥為常開電磁閥。
7.如權利要求1~6中任一項所述的用于真空器件的真空保持系統，其特征在于，所述吸氣劑元件的形狀和大小由所述真空器件中真空室的容積和漏氣率決定。
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