[實用新型]用于真空器件的真空保持系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201220543826.9
• 申請日: 2012-10-23
• 公開（公告）號: CN202905649U
• 公開（公告）日: 2013-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張揚;李玉江;張文憑;王懷德;陳智勇;唐松;高松海
• 申請（專利權(quán)）人: 北京市北分儀器技術(shù)有限責任公司
• 主分類號: H01J7/14
• 分類號: H01J7/14;H01J7/18
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空器件的真空保持技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于真空器件的真空保持系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在科技飛速發(fā)展的今天，許多儀器設(shè)備對真空的要求越來越高，真空設(shè)備在長途運輸過程中需要保持一定的真空度，如果沒有真空保持系統(tǒng)，真空設(shè)備會收到環(huán)境大氣的污染；應(yīng)付突發(fā)事件的真空儀器在貯存過程中不可能持續(xù)供電，如果沒有真空保持系統(tǒng)，儀器就不具備應(yīng)對突發(fā)事件的能力，所以設(shè)計一套完備的真空保持系統(tǒng)是非常必要的。

真空保持系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用在各類民用、軍用電子管及真空器件中，更適用于各種高壓及振動條件下要求高可靠性的軍用各類真空器件中，如激光管、行波管、微波管、圖像增強儀、真空玻璃等，還可在填充惰性氣體的器件中應(yīng)用，以提純惰性氣體。例如，質(zhì)譜儀使用離子泵作為獲得真空的主要手段，但是離子泵的啟動有一定的真空度要求，然而，質(zhì)譜儀在長時間停機斷電后無法保證真空室內(nèi)保持離子泵要求的啟動真空度，故此需要真空保持系統(tǒng)進行維持。

美國SAES（賽斯集團）開發(fā)了一種用于保持真空度的多孔薄膜吸氣劑（High?Porosity?Thin?Film?Getters或HPTF）。這種吸氣劑是由在金屬基材上涂鍍高孔隙的、機械性能穩(wěn)定的吸氣劑制成。吸氣劑鍍層通過一種特殊的絲網(wǎng)印刷術(shù)淀積到金屬基材上，通常是通過一種金屬掩模在經(jīng)過化學蝕刻的基材上印刷。然后將這些涂層在真空條件下進行高溫燒結(jié)，由于在連接處形成了一層擴散層，吸氣材料同基材完美地連為一體并機械的合并在一起。這款產(chǎn)品的優(yōu)點在于可靠性高，有效吸附面積大，吸氣劑利用效率高，缺點是外形尺寸較大，費用高昂，從而導(dǎo)致使用該吸氣劑的真空保持系統(tǒng)的體積大，成本高。

實用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本實用新型首先要解決的技術(shù)問題是：如何降低真空保持系統(tǒng)的體積及成本。

（二）技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于真空器件的真空保持系統(tǒng)，所述真空保持系統(tǒng)包括：吸氣劑元件、固定部和真空閥，所述吸氣劑元件安裝在所述固定部上，所述真空閥連接于所述固定部與所述真空器件之間。

優(yōu)選地，所述吸氣劑元件包括吸氣材料部和加熱絲部，所述加熱絲部位于吸氣材料部的兩端。

優(yōu)選地，所述固定部為法蘭盤。

優(yōu)選地，所述法蘭盤上焊有多個真空引線端子，相鄰的兩個真空引線端子之間焊有吸氣劑元件，且吸氣劑元件之間形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述吸氣材料部由鈦基非蒸散型室溫吸氣劑制成。

優(yōu)選地，所述真空閥為常開電磁閥。

優(yōu)選地，所述吸氣劑元件的形狀和大小由所述真空器件中真空室的容積和漏氣率決定。

（三）有益效果

上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點：本實用新型所設(shè)計的真空保持系統(tǒng)體積小，成本低。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是吸氣劑元件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是吸氣劑元件在法蘭盤上的安裝示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步詳細描述。以下實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。

如圖1所示，本實用新型提供一種用于真空器件的真空保持系統(tǒng)，所述真空保持系統(tǒng)包括：吸氣劑元件1、固定部2和真空閥3，所述吸氣劑元件1安裝在所述固定部2上，所述真空閥3連接于所述固定部2與所述真空器件的真空室4之間。

如圖2所示，所述吸氣劑元件1包括吸氣材料部1-1和加熱絲部1-2，所述加熱絲部1-2位于吸氣材料部1-1的兩端。

所述固定部為法蘭盤。所述法蘭盤上焊有多個真空引線端子5，相鄰的兩個真空引線端子之間焊有吸氣劑元件1，且吸氣劑元件之間形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)，如圖3所示。

所述吸氣材料部由鈦基非蒸散型室溫吸氣劑制成。這種鈦基非蒸散型室溫吸氣劑是以活性金屬鈦為基，添加適量的鉬粉，經(jīng)高溫沉積等特殊工藝處理后，最終經(jīng)高真空燒結(jié)而成的多孔吸氣材料。核心材料呈多孔結(jié)構(gòu)，具有較高的孔隙度和較大表面積，吸氣劑顆粒之間有一定的粘結(jié)強度，因此它除了具有良好的室溫吸氣性能外，更具有良好的抵抗惡劣工作環(huán)境的強度和性能，同時可以根據(jù)具體需求制備成不同形狀規(guī)格的元件。吸氣劑的使用特點是它激活后，不需要加電或其他任何能量即可工作。