[實用新型]薄膜形成裝置有效
| 申請號： | 201220540309.6 | 申請日： | 2012-10-22 |
| 公開（公告）號： | CN202898521U | 公開（公告）日： | 2013-04-24 |
| 發明（設計）人： | 渡邊健;青山貴昭;岡田勝久;鹽野一郎;宮內充祐;長江亦周 | 申請（專利權）人： | 株式會社新柯隆 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 黨曉林;王小東 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜 形成 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種薄膜形成裝置，其具備：真空槽；蒸鍍機構，其收納在該真空槽內；和基板保持部件，其在比所述蒸鍍機構靠上方的位置收納在所述真空槽內，所述薄膜形成裝置的特征在于，
在所述基板保持部件的外周部和所述真空槽的內壁面之間的間隙內，配置有從所述基板保持部件外周部向所述真空槽內壁面延伸出的密封部。
2.根據權利要求1所述的薄膜形成裝置，其特征在于，
所述密封部具備圓形的外緣，該外緣接近所述真空槽的內壁面。
3.根據權利要求2所述的薄膜形成裝置，其特征在于，
所述基板保持部件的外周部為所述基板保持部件的下部，
所述基板保持部件的下部形成為越位于所述基板保持部件的下端側、外緣越擴大的形狀，
所述密封部安裝于所述基板保持部件的下端面。
4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的薄膜形成裝置，其特征在于，
所述密封部被安裝成相對于所述基板保持部件的外周部能夠裝卸。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于株式會社新柯隆，未經株式會社新柯隆許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201220540309.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
