[實用新型]一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件

有效

• 申請號: 201220535427.8
• 申請日: 2012-10-18
• 公開（公告）號: CN203191634U
• 公開（公告）日: 2013-09-11
• 發明（設計）人: 謝會開;周亮;陳巧
• 申請（專利權）人: 無錫微奧科技有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

技術領域

本實用新型涉及一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，屬于微機電系統領域。?

背景技術

MEMS（Micro-electro-mechanical?systems)，即微機電系統，是利用微加工技術制造出來的各種微型器件或系統，主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等，它是在融合多種微細加工技術，并應用現代信息技術的最新成果的基礎上發展起來的高科技前沿學科，而其中MEMS微鏡系統就是此技術的一個典型應用。MEMS微鏡主要用于控制光線的偏轉方向，作為MEMS器件的典型產品應用器應用甚廣。隨著器件的微型化，MEMS微鏡被廣泛用于微型投影儀，光開關，光可變衰減器，微型光譜儀，微型光學探頭等；其中許多情況下，都要求MEMS微鏡與入射光成一定的角度，如圖1中所示。?

為使MEMS微鏡能傾斜一定角度，現有的方法一般是把MEMS微鏡貼敷于具有固定角度的基座上（Huikai?Xie?etc.,3D?In?Vivo?optical?coherence?tomography?based?on?a?low-voltage,large-scan-range2D?MEMS?mirror），或者把MEMS微鏡插接在與基座成一定角度的溝槽中（Xiaojing?Mu?etc，MEMS?micromirror?integrated?endoscopic?probe?for?optical?coherence?tomography?bioimaging）。?

由于現有方法中需要額外增加具有特定角度的基座或者溝槽等，使得器件的體積龐大，還需額外的電連接把MEMS微鏡的焊盤與基座或額外的其他部件電路連接，因此，器件整體的性能不夠穩定，且MEMS微鏡的角度不能自由控制，?導致器件的功能單一；另外，還需要大量的組裝工作，成品率低。?

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，該器件的MEMS微鏡與入射光源成一定角度傾斜，無需額外基座，且其傾斜角度可以自由控制；單片MEMS微鏡集成，MEMS微鏡的電連接設置于基底上，方便操作。?

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：?

一種集成傾角可控MEMS微鏡的器件，包括MEMS微鏡、基底、電引線，所述電引線設置于所述基底上，所述MEMS微鏡與所述基底之間連接有驅動臂，所述MEMS微鏡底部無支撐地懸空設置。?

進一步地，所述MEMS微鏡包括邊框、鏡體和鏡體驅動臂，所述鏡體驅動臂連接于邊框與鏡體之間。?

進一步地，所述驅動臂的驅動方式為電熱驅動、壓電驅動或熱膨脹聚合物。?

進一步地，所述驅動臂包括至少兩段雙層結構，所述雙層結構的第一段與第二段包括第一材料層和第二材料層，所述第一段的第一材料層設置在第二材料層的上方，所述第二段的第一材料層設置在第二材料層的下方；所述第一段與第二段依次連接設置。?

進一步地，所述驅動臂包括至少兩段多層結構，所述多層結構的第一段與第二段包括第一材料層和第二材料層，所述第一段的第一材料層設置在第二材料層的上方，所述第二段的第一材料層設置在第二材料層的下方；所述第一段與所述第二段還包括除第一材料層與第二材料層之外的一層或多層材料結構，所述第一段與第二段依次連接設置。?

進一步地，所述驅動臂至少包括上層材料層和下層材料層，所述上層材料?層與下層材料層的材料熱膨脹系數不同。?

更進一步地，所述上層材料層的上表面、下層材料層的下表面或上層材料層和下層材料層之間設置有一層或多層材料層。?

進一步地，所述驅動臂中至少有一層是導體層。?

進一步地，所述基底上設有焊盤，所述電引線與所述基底上的焊盤導電連接，所述電引線的另一端與驅動臂的導體電連接。?

進一步地，所述MEMS微鏡的鏡體自身傾斜角度固定，或者鏡體自身傾斜角通過其周圍的鏡體驅動臂可調。?

進一步地，所述鏡體驅動臂包括至少兩段雙層結構，所述雙層結構的第一段與第二段包括第一材料層和第二材料層，所述第一段的第一材料層設置在第二材料層的上方，所述第二段的第一材料層設置在第二材料層的下方；所述第一段與第二段依次連接設置。?

進一步地，所述鏡體驅動臂包括至少兩段雙層結構，所述雙層結構的第一段與第二段包括第一材料層和第二材料層，所述第一段的第一材料層設置在第二材料層的上方，所述第二段的第一材料層設置在第二材料層的下方；所述第一段與所述第二段還包括除第一材料層與第二材料層之外的一層或多層結構，所述第一段與第二段依次連接設置。?